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书名
微机电技术/新兴微纳电子技术丛书
分类
作者
田文超//娄利飞
出版社
西安电子科技大学出版社
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简介
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本书系统地介绍了微机电技术基本内容, 分析方法和主要应用, 包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件等。
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更新时间:2025/7/24 1:55:30