微型传感器是一门多学科交叉的综合性技术,涉及知识面广,更新速度快。面对具体问题时,能查到专业文献、能读懂文献内容、能自行设计实验、能对实验结果进行分析总结,是从事该领域科学研究及工程应用的人员必备的基本专业素养。本书将深入的基础知识阐述与丰富的实例分析相结合,采用大量的图表,系统介绍了热、辐射、机械、磁、化学量微传感器以及微传感器系统等方面的基本理论及实现技术。在每章结尾都给出了推荐阅读与练习思考题,引导读者建立微传感器设计、研究、制作及实验分析等方面的基本理念。
本书可用作高等院校微机电系统、测控技术与仪器等专业的本科及研究生的专业课程教材,也可作为从事相关专业工程技术人员的参考书。
针对微传感器技术发展速度快,一些理论、方法及实现技术尚未成熟的特点,本书紧密结合微传感器的最新发展动态,对热、辐射、机械、磁、化学量微传感器的基本理论及实现技术进行分类阐述,同时介绍了微传感器系统及其数据获取与处理方面的知识,旨在为读者提供一本微传感器方面的入门读物。本书帮助读者在掌握微传感器基础知识的基础上,建立微传感器设计、研究、制作及实验分析等方面的基本概念。当遇到具体的微传感器问题时,能查到专业文献,能读懂文献内容,能自行设计实验,能对实验结果进行分析总结。
本书所涉及的微传感器,是指那些至少有一个物理尺寸在亚毫米量级的传感器。全书共分10章:引言、微传感器与信号、微传感器的常用材料及加工工艺、热学量微传感器、辐射量微传感器、机械量微传感器、磁微传感器、化学量微传感器常用技术、化学量微传感器、微传感器的数据获取。
本书可供高等工科院校微机电系统、测控技术与仪器、自动化工程、机电一体化及仪器仪表等专业师生使用,也可供从事仪器相关专业的研究、设计、制造、使用的工程技术人员学习和参考。