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书名
MEMS集成设计技术及应用/MEMS与微系统系列/微米纳米技术丛书
分类
科学技术-工业科技-电子通讯
作者
苑伟政//谢建兵//焦文龙
出版社
国防工业出版社
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简介
内容推荐
全书共分九章, 内容包括: 绪论、MEMS系统级仿真平台构建技术、MEMS系统级多端口组件建模技术、MEMS器件级仿真平台构建技术、宏建模技术、MEMS工艺级建模与仿真技术、MEMS集成设计工具转换接口构建技术、MEMS Garden及使用、MEMS Garden器件设计实例。
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更新时间:2025/4/5 4:29:00