崔铮编写的《微纳米加工技术及其应用(第3版)》是一本全面介绍微纳米加工技术基础与国外最新发展的读物。全书共分11章，内容包括：光学曝光技术，电子束曝光技术，聚焦离子束加工技术，扫描探针加工技术，复制技术，沉积法图形转移技术，刻蚀法图形转移技术，间接纳米加工技术，自组装纳米加工技术，微纳米加工技术的应用等。

《微纳米加工技术及其应用(第3版)》集作者崔铮多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。对各种加工技术的介绍着重讲清原理，列举基本的_丁艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型的工艺参数；充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项；以大量图表与实例说明各种加工方法，避免烦琐的数学分析；并以专门一章介绍了微纳米加工技术在现代高新技术领域的应用，演示了如何灵活应用微纳米加工技术来推动这些领域的技术进步。

与国内外同类出版物相比，《微纳米加工技术及其应用(第3版)》的显著特点是将用于超大规模集成电路生产、微机电系统制造与纳米技术研究的微纳米加工技术进行综合介绍，并加以比较；首次将微纳米加工归纳为平面工艺、探针工艺和模型工艺3种主要类型，突出了微纳米加工与传统加工技术的不同之处。全书既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的最新进展，并列举了大量参考文献与互联网链接网址，供读者进一步发掘详细信息与深入研究，因此不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生，还是对已经有一定工作经验的专业科技人员，都具有很好的参考价值。

第1章 绪论

第2章 光学曝光技术

第3章 电子束曝光技术

第4章 聚焦离子束加工技术

第5章 扫描探针加工技术

第6章 复制技术

第7章 沉积法图形转移技术

第8章 刻蚀法图形转移技术

第9章 间接纳米加工技术

第10章 自组装纳米加工技术

第11章 微纳米加工技术的应用

结束语

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