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书名
套装-半导体干法刻蚀技术+半导体干法刻蚀技术 原子层工艺(全2册)
分类
科学技术-工业科技-电子通讯
作者
(美)索斯藤·莱尔 等
出版社
机械工业出版社
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简介
内容推荐
《套装-半导体干法刻蚀技术+半导体干法刻蚀技术 原子层工艺(全2册)》由(美)索斯藤·莱尔等著
目录
《半导体干法刻蚀技术:原子层工艺》
《半导体干法刻蚀技术(原书第2版)》
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更新时间:2025/7/20 21:20:25