本书读者定位为青少年，从科普的角度全方位介绍集成电路技术和产业发展的历程，系统全面地向青少年读者推广与普及集成电路知识，让青少年读者从感兴趣入手，逐步激发他们对集成电路的感性认识，在他们的心中播撒爱“芯”的“种子”，进而学习、掌握“芯”知识，将来投身到这一领域，为我国集成电路技术提升和产业创新发展作出贡献。

第一章 “神奇的小方块”
——集成电路和芯片
无处不在的芯片
芯片的构成
芯片产业的生态链
第二章 “芯片是怎样炼成的”
——芯片的工艺制程
硅片的制备
前段工艺
后段工艺
第三章 “芯片上的图像艺术”
——光刻工艺
什么是光刻技术
光刻的工艺技术——光刻曝光显影工艺的8个步骤
光刻技术的设备、材料和软件
光刻技术的发展与展望
第四章 “芯片的雕刻家”
——材料刻蚀
什么是刻蚀技术
刻蚀的基本原理
刻蚀工艺
第五章 “给芯片加点佐料”
——芯片的掺杂工艺
什么是掺杂技术
扩散工艺
离子注入工艺
退火工艺
第六章 “给芯片穿上层层新衣”
——薄膜技术
什么是薄膜技术
薄膜的基本特性
薄膜的沉积技术
典型薄膜的沉积方法
第七章 “坦平芯片的原野”
——化学机械抛光
什么是平坦化技术
化学机械抛光原理
化学机械抛光设备和耗材
化学机械抛光工艺
第八章 “穿上盔甲，整装出发”
——芯片的封装工艺
硅片的减薄
芯片的切割
芯片的贴装
芯片的互连
芯片的塑封压模
芯片的修整与成型
可靠性测试
给芯片加个代码——标记
参考文献
后记

当今世界，芯片驱动世
界，推动社会生产，影响
人类生活！集成电路，被
称为电子产品的“心脏”，是
信息技术产业的核心。集
成电路产业技术高度密集
，是人类社会进入信息时
代、智能时代的重要核心
产业，是一个支撑经济社
会发展，关系国家安全的
战略性、基础性和先导性
产业。在我们面临“百年未
有之大变局”的形势下，集
成电路更具有格外重要的
意义。
当前，人工智能、集成
电路、先进制造、量子信
息、生命健康、脑科学、
生物育种、空天科技、深
地深海等前沿领域都是我
们发展的重要方面。在这
些领域要加强原创性、引
领性科技攻关，不仅要在
技术水平上不断提升，而
且要推动创新链、产业链
融合布局，培育壮大骨干
企业，努力实现产业规模
倍增，着力打造具有国际
竞争力的产业创新发展高
地。新形势下，对于从事
这一领域的专业人员来说
既是一种鼓励，更是一种
鞭策，如何更好地服务国
家战略科技，需要我们认
真思索和大胆实践。
集成电路产业链长、流
程复杂，包括原材料、设
备、设计、制造和封装测
试等五大部分，每一部分
又包括诸多细分领域，涉
及的知识面极为广泛，对
人才的要求也非常高。高
校是人才培养的重要基地
，也是科技创新的重要策
源地，应该在推动我国集
成电路技术和产业发展过
程中发挥重要作用。复旦
大学是我国最早从事研究
和发展微电子技术的单位
之一。20世纪50年代，我
国著名教育家、物理学家
谢希德教授在复旦创建半
导体物理专业，奠定了复
旦大学微电子学科的办学
根基。复旦大学微电子学
院成立于2013年4月，是国
家首批示范性微电子学院
。
“芯’路丛书”由复旦大学
组织其微电子学院院长、
教授张卫等从事一线教学
科研的教授和专家组成编
撰团队精心编写，与上海
科学普及出版社联手打造
，丛书的出版还得到了上
海国盛（集团）有限公司
的大力支持。丛书旨在进
一步培育热爱集成电路事
业的科技人才，解决制约
我国集成电路产业发展的“
卡脖子”问题，积极助推我
国集成电路产业发展，在
科学传播方面作出贡献。
该丛书读者定位为青少
年，丛书从科普的角度全
方位介绍集成电路技术和
产业发展的历程，系统全
面地向青少年读者推广与
普及集成电路知识，让青
少年读者从感兴趣入手，
逐步激发他们对集成电路
的感性认识，在他们的心
中播撒爱“芯”的“种子”，进
而学习、掌握“芯”知识，将
来投身到这一领域，为我
国集成电路技术提升和产
业创新发展作出贡献。
本套丛书普及集成电路
知识，传播科学方法，弘
扬科学精神，是一套有价
值、有深度、有趣味的优
秀科普读物，对于青年学
生和所有关心微电子技术
发展的公众都有帮助。