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书名
集成电路制造工艺(全国高等职业教育规划教材)/精品与示范系列
分类
科学技术-工业科技-电子通讯
作者
孙萍
出版社
电子工业出版社
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简介
内容推荐
本书共分4个模块11章, 第1个模块为基础模块, 介绍集成电路工艺发展的状况及典型电路的工艺流程 ; 第2个模块为核心模块, 重点介绍薄膜制备、光刻、刻蚀、掺杂及平坦化5个单项工艺的原理、技术、设备、操作及参数测试 ; 第3个模块为拓展模块, 根据产业链状况介绍材料制备、封装测试、洁净技术 ; 第4个模块为提升模块, 通过CMOS反相器的制造流程对单项工艺进行集成应用。
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更新时间:2025/4/30 4:36:37