本书是“电子科学与技术国防科工委十五规划教材”之一的“真空技术”专册，具体包括了：真空状态的特点及真空技术的基本内容、气体分子的速率分布——麦克斯韦速率分布律、电子在稀薄气体(真空)、分子从表面的反射——余弦定律(克努曾定律)等方面的内容。

本书包括真空技术的物理基础及实际技术两大部分。物理基础部分由稀薄气体理论及固体一气体间的现象两章组成；实际技术部分包括真空获得、总压强测量、分压强测量、真空检漏技术及真空系统等5章。本书注重理论联系实际，科学系统性较完整，对问题的阐述力求做到理论严谨、概念准确。

本书可作为电子物理与技术、半导体、微电子、冶金、真空设备和实验物理等有关专业的研究生及本科生教材使用，也可供有关真空技术应用方面的科技人员参考。

绪论

 0．1 真空状态的特点及真空技术的基本内容

 0．2 真空度的单位及真空区域的划分

 0．3 真空技术在科学研究及工业生产中的重要作用 

第1章 真空技术的物理基础(一)——稀薄气体理论

 1．1 气体分子运动论的基本原理

1．1．1 气体基本定律

1．1．2 气体分子运动论基本假设

1．1．3 理想气体

1．1．4 数据举例

1．1．5 蒸汽

 1．2 气体的压强

 1．3 气体分子的速率分布——麦克斯韦速率分布律

1．3．1 三种代表性速率

l．3．2 分布函数

 1．4 碰撞次数

 1．5 平均自由程与碰撞截面

1．5．1 气体分子平均自由程

1．5．2 离子或电子在气体中的自由程

1．5．3 有效直径与有效截面

 l．6 自由程长度分布律 

 1．7 电子在稀薄气体(真空)中的碰撞

1．7．1 漂移场与加速场下电子的碰撞

1．7．2 加速场下电子在电极间的碰撞次数分布律

 1．8 电子碰撞分子(原子)电离和裂解

1．8．1 电子碰撞原子／分子电离

1．8．2 电子碰撞分子碎裂

 1．9 稀薄气体(真空)中的电子繁流现象

1．9．1最简模型的繁流公式

l．9．2模型二的繁流公式

l．9．3模型三的繁流公式

 1．10 单位时间碰壁数

 1．11 分子从表面的反射——余弦定律(克努曾定律)

 l．12 气体中的输运现象·输运方程

 1．13 常压下气体的热传导

 1．14 常压下气体中的内摩擦

 1．15 气体自扩散

 1．16 气体互扩散

 1．17 滑动现象 

 1．18 温度剧增现象

 1．19 低压气体中的输运现象

1．19．1 低压气体外摩擦(自由分子黏滞性) 

1．19．2 低压气体热传导(自由分子热传导) 

 1．20 热流逸现象

1．20．1 平衡情况

1．20．2 热流逸现象

 1．21 分子辐射计力

 1．22 气体在管道中的黏滞性流动——泊肃叶(poisseulle)公式”

 1．23 气体在管道中的分子性流动——克努曾(knudsen)公式

 1．24 气体通过小孔的流动

 1．25 流导与流阻、传输几率

1．25．1 管道的流导

1．25．2 孔眼的流导

1．25．3 并联与串联

1．25．4 传输几率

1．25．5 流量恒定关系

 参考文献

 习题

第2章 真空技术的物理基础(二)——固体一气体间的现象

第3章 真空获得

第4章 真空的总压强测量

第5章 真空的分压强测量

第6章 真空检漏技术

第7章 真空系统