第1章 绪论
1.1 MEMS技术的概述
1.1.1 MEMS的概念和特点
1.1.2 MEMS技术的发展
1.2 MEMS技术在军事中的应用
第2章 MEMS开关分类
2.1 加速度计开关
2.2 RF MEMS开关
2.3 机电耦合开关
2.4 MEMS惯性开关
2.5 引信用MEMS开关的特点
2.5.1 目前引信用开关存在的问题
2.5.2 引信特殊环境对MEMS惯性开关性能需求
第3章 开关多物理场
3.1 结构场
3.1.1 变截面积悬臂梁的刚度计算
3.1.2 S形折叠悬臂梁刚度计算
3.1.3 S形折叠悬臂梁刚度的有限元仿真
3.2 静电场
3.2.1 静电驱动原理
3.2.2 静电吸合效应
3.2.3 负弹簧效应的影响
3.3 静电-结构耦合特性分析
3.3.1 等效刚度法静电-结构耦合分析
3.3.2 模态叠加法静电-结构耦合分析
3.3.3 有限元反馈法静电-结构耦合分析
3.4 阻尼场
3.4.1 滑膜阻尼
3.4.2 压膜阻尼
3.4.3 悬臂梁的流-固耦合的压膜阻尼模型
第4章 影响引信MEMS惯性开关性能的主要因素
4.1 开关的响应时间
4.2 开关的闭合可靠性
4.3 开关的接触电阻
4.3.1 接触形式的影响
4.3.2 接触材质的影响
4.3.3 接触电阻的计算
第5章 典型开关的设计与分析
5.1 阈值可调的悬臂梁开关的设计与分析
5.1.1 模型的建立
5.1.2 开关基本工作原理
5.1.3 开关工作性能仿真
5.1.4 抗过载性能仿真
5.1.5 尺寸参数对开关性能的影响分析
5.1.6 加工误差仿真分析
5.2 环形无源万向惯性开关的设计与分析
5.2.1 开关基本工作原理
5.2.2 开关工作性能仿真
5.2.3 抗过载性能仿真
5.2.4 开关工艺流程
5.2.5 开关封装工艺
5.3 低g值惯性开关的设计与分析
5.3.1 模型的建立
5.3.2 开关工作性能的仿真
5.3.3 低g值开关的模态仿真
第6章 典型开关测试技术
6.1 MEMS器件测试的基本原理与方法
6.2 开关静态实验测试
6.2.1 尺寸检测
6.2.2 接触电阻检测
6.3 开关冲击实验测试
6.3.1 开关阈值测试
6.3.2 开关抗高过载性能测试
参考文献

刘双杰、郝永平著的《引信用MEMS开关设计方法》共分6章，第1章主要介绍本书的研究背景和研究意义。第2章对MEMS开关进行分类，并且分析了引信用MEMS开关的特点。第3章针对悬臂梁式的MEMS惯性开关工作时受到多个物理场耦合作用的特点，分别分析了结构场(弹性力)、静电场(静电力)以及外部的体积力场(惯性力)的特性；给出计算静电驱动悬臂梁结构变形的3种方法，即等效刚度法、模态叠加法和有限元反馈法；分别应用等效刚度法和有限元反馈法求解静电力作用下悬臂梁的变形特性，并比较3种方法的优缺点和适用性；建立惯性力和静电力耦合作用下悬臂梁开关挤压膜阻尼模型，引入表征流体性能的雷诺方程，建立悬臂梁的流一固耦合模型，推导出了在静电力、惯性力耦合作用时，悬臂梁压膜阻尼系数的计算公式。第4章分析了影响引信MEMS惯性开关性能的主要因素：开关的响应时间、闭合可靠性以及开关闭合瞬间的接触电阻。第5章设计了3种不同的MEMs开关模型。针对引信用开关的通用性要求，基于静电驱动原理，设计了一种具有阈值可调功能的悬臂梁开关，满足了引信零部件通用性的要求，可以适用弹丸对不同目标的打击；针对引信用惯性开关万向性的要求，提出了一种多弹性支撑的环形万向惯性开关，研究了开关万向性的结构设计；建立了多物理场耦合作用下开关的动力学控制方程，推导出加速度阈值和开关结构参数的关系表达式；针对低g的要求，提出了一种螺旋线状悬臂梁支撑的低g值惯性开关，研究了开关的瞬态动力学。第6章是对环形万向惯性开关这一典型开关的测试技术介绍。