田民波、李正操编著的《薄膜技术与薄膜材料》是材料科学与工程系列丛书之一。全书共分4部分。第1部分(第1～5章)为薄膜沉积基础，包括真空技术基础、真空泵和真空规、真空装置的实际问题、气体放电和低温等离子体、薄膜生长和薄膜结构；第2部分(第6～9章)为薄膜制备工艺，包括真空蒸镀、离子镀和离子束沉积、溅射镀膜、化学气相沉积(CVD)；第3部分(第10～11章)为薄膜的微细加工，包括干法刻蚀、平坦化技术；第4部分(第12～17章)分别论述薄膜技术与薄膜材料在表面改性及超硬膜，能量及信号变换，半导体器件、记录与存储，平板显示器，太阳电池，白光LED固体照明等领域的应用。每章后都附有习题，供教学时选用。

本书内容广泛，取材新颖，叙述通俗易懂，紧密联系实际。可作为材料、机械、精密仪器、化工、能源、微电子、计算机、物理、化学、光学等相关学科本科高年级及研究生用教材，也可供科研和工程技术人员参考。

薄膜即微细加工技术的应用范围极为广泛，从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光I.ED固体照明、太阳能电池到材料的表面改性等，涉及高新技术产业的各个领域。由田民波、李正操编著的《薄膜技术与薄膜材料》内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分，涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面，知识全面，脉络清晰。全书共17章，文字通俗易懂，并配有大量图解，每章后面附有习题，有利于对基本概念和基础知识的理解、掌握与运用。《薄膜技术与薄膜材料》可作为材料、机械、精密仪器、化工、能源、微电子、计算机、物理、化学、光学等学科本科生及研究生教材，对于从事相关行业的科技工作者与工程技术人员，也具有极为难得的参考价值。

第1章 真空技术基础

第2章 真空泵与真空规

第3章 真空装置的实际问题

第4章 气体放电和低温等离子体

第5章 薄膜生长与薄膜结构

第6章 真空蒸镀

第7章 离子镀和离子束沉积

第8章 溅射镀膜

第9章 化学气相沉积(CVD)

第10章 干法刻蚀

第11章 平坦化技术

第12章 表面改性及超硬膜

第13章 能量及信号变换用薄膜与器件

第14章 半导体器件、记录和存储用薄膜技术与薄膜材料

第15章 平板显示器中的薄膜技术与薄膜材料

第16章 太阳电池中的薄膜技术与薄膜材料

第17章 白光LED固体照明与薄膜技术

参考文献

作者书系