等离子体技术在材料中的应用是一门新兴的交叉学科，是微电子、纳米材料制作、材料加工、聚变能源和太空航行的核心技术。本书重点论述了等离子体的表面改性，特别是根据多年来离子渗氮、离子沉积出现的各种问题。全书共分十一章，主要内容包括等离子体物理基础，离子渗氮原理，等离子体表面改性主要设备，离子渗氮的应用，等离子体对材料的表面改性，等离子体技术与纳米材料等。本书内容丰富、图文并茂，理论与实践紧密结合，是从事等离子体加工技术人员及操作者的指南。

本书总结了作者多年来的实践经验，查阅了大量的当今国内外有关等离子体的理论和应用文献；对等离子体的基础理论、工业应用进行了介绍，重点对等离子体的渗氮、沉积技术、制作纳米材料作了较详细的论述，从原理、设备、材料、操作、质量检测以及实际应用中出现的问题及其解决办法，也作了简明扼要而又通俗的描写。内容丰富、图文并茂，理论与实践紧密结合，是从事等离子体加工技术人员及操作者的指南，也可供材料科学、等离子物理、表面技术、热处理技术、机械工程等专业的学生、教师、工程技术人员作教学参考。

第1章 等离子体物理基础

1.1 等离子体产生的原理及概念

1.2 等离子体的温度

1.3 等离子体的密度

1.4 等离子体的振动

1.5 等离子体的状态

1.6 等离子体的获得

1.7 等离子体的分类

1.8 等离子体的性质

第2章 等离子体中的反应

2.1 碰撞

2.2 气体放电的伏安特性曲线

2.3 气体电离

2.4 辉光放电

2.5 弧光放电

2.6 高频放电

2.7 离子轰击阴极表面的物理、化学效应

第3章 离子渗氮原理

3.1 渗氮处理基础

3.2 离子渗氮理论

3.3 离子渗氮的主要特点

第4章 等离子体表面改性主要设备

4.1 供电系统

4.2 等离子体渗氮设备

4.3 等离子渗碳及碳氮共渗

4.4 多弧离子沉积(PVD)

第5章 离子渗氮材料的选择

5.1 合金元素在渗氮钢中的作用

5.2 渗氮材料选择原则

第6章 离子渗氮层的组织、性能及检验

6.1 渗氮层的组织

6.2 渗氮层的氮浓度

6.3 渗氮层的厚度

6.4 渗氮层的性能

6.5 离子渗氮层的质量检验

第7章 离子渗氮的应用

7.1 挤压机螺杆

7.2 缸套的离子渗氮

7.3 曲轴

7.4 齿轮

7.5 精密丝杠

7.6 镗杆和主轴

7.7 深孔渗氮

7.8 钛和钛合金零件

7.9 工模具

7.10 其他

第8章 等离子体对材料的表面改性

8.1 辉光离子软氮化

8.2 等离子体物理气相沉积(PVD)

8.3 等离子体化学气相沉积(PCVD)

8.4 等离子体聚合

8.5 特殊等离子体CVD

第9章 等离子体冶金

9.1 等离子体冶炼技术特点

9.2 技术经济指标分析

第10章 等离子体技术与纳米材料

10.1 等离子体加热法制取纳米微粒

10.2 等离子体制取纳米薄膜

第11章 等离子体诊断简介

11.1 低气压等离子体及其工艺的光学诊断

11.2 电子温度的直接测量