本套书汇总了当前现行微束分析国家标准112项编辑成册。本书为下册，汇编内容包括：电子能谱、扫描探针显微镜、X射线反射和X射线荧光分析、表面化学分析-纳米材料等相关国家标准。在一定程度上反映了我国近年来微束分析标准化事业发展的基本情况和主要成就。

一、表面化学分析词汇
GB/T 22461-2008 表面化学分析 词汇
二、表面化学分析电子能谱
GB/T 19500-2004 X射线光电子能谱分析方法通则
GB/T 21006-2007 表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度标的线性
GB/T 25185-2010 表面化学分析 X射线光电子能谱 荷电控制和荷电校正方法的报告
GB/T 25184-2010 X射线光电子能谱仪检定方法
GB/T 25187-2010 表面化学分析 俄歇电子能谱 选择仪器性能参数的表述
GB/T 25188-2010 硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法
GB/T 26533-2011 俄歇电子能谱分析方法通则
GB/T 28893-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 测定峰强度的方法和报告结果所需的信息
GB/T 28633-2012 表面化学分析 X射线光电子能谱强度标的重复性和一致性
GB/T 28632-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定
GB/T 28892-2012 表面化学分析 X射线光电子能谱选择仪器性能参数的表述
GB/T 29731-2013 表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪元素和化学态分析用能量标校准
GB/T 29558-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱 强度标的重复性和一致性
GB/T 30704-2014 表面化学分析 X射线光电子能谱 分析指南
GB/T 30702-2014 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南
GB/Z 32494-2016 表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息的解析
GB/Z 32490-2016 表面化学分析 X射线光电子能谱 确定本底的程序
GB/T 32998-2016 表面化学分析 俄歇电子能谱 荷电控制与校正方法报告的规范要求
GB/T 22571-2017 表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准
GB/T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法
GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
GB/T 36504-2018 印刷线路板表面污染物分析 俄歇电子能谱
GB/T 36533-2018 硅酸盐中微颗粒铁的化学态测定 俄歇电子能谱法
GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
GB/T 41072-2021 表面化学分析 电子能谱 紫外光电子能谱分析指南
GB/T 41073-2021 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求
三、表面化学分析 扫描探针显微镜
GB/T 40128-2021 表面化学分析 原子力显微术 二硫化钼片层材料厚度测量方法
四、表面化学分析 X射线反射和X射线荧光分析
GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光谱法（TXRF）测定
GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
五、表面化学分析 纳米材料表征浅胡国学
GB/T 33498-2017 表面化学分析 纳米结构材料表征
（共计32项国家标准，按标准体系排序）