本书作为学习电子显微分析技术的入门教材，主要介绍电子显微分析的基本原理、透射电镜的基本结构与性能、基本成像过程、透射电镜衍射花样的分析、透射电镜明场像、暗场像与高分辨像的分析、复杂衍射花样与图像的分析；扫描电镜的基本工作原理、二次电子像与背散射电子像的分析、扫描电镜波谱仪与能谱仪的介绍、背散射电子衍射花样的分析等等。主要适用对象是材料学科的本科生或研究生，也可用于化工、机械、生物、医学、地质、微电子、物理等专业的学习。

第1章 电子显微镜发展简史
电子显微镜的发展历史
中国的电子显微镜发展历史
第2章 透射电子显微分析
2.1 概述
2.2 透射电镜的基本成像过程
2.3 透射电镜的基本结构
2.4 透射电镜的基本性能
2.5 透射电镜的电子衍射花样分析
电子的散射、反射和衍射
透射电镜中电子衍射的特征
单晶衍射花样分析
2.6 透射电镜图像的衍射衬度
不同晶粒的衍射衬度
晶粒内部的衍射衬度
完整晶体的衍射强度基本运动学方程
等倾条纹
kgs关系
等厚条纹
关于衍射衬度的小结
2.7 复杂衍射花样
对称与非对称入射的衍射花样
衍射花样中异常明亮的衍射斑点
多晶衍射花样
李晶衍射花样
二次衍射花样
劳厄带衍射花样
超点阵衍射花样
菊池线
2.8 高分辨像
2.9 透射电子显微镜的基本操作与样品制备
第3章 扫描电子显微分析
3.1 基本结构、工作原理和基本性能
3.2 二次电子像
3.3 特征X射线
波谱仪
能谱仪
3.4 背散射电子像
背散射电子的形貌衬度
背散射电子像的原子序数衬度
背散射电子像的分辨率
背散射电子像的阴影效应
3.5 背散射电子衍射分析 (EBSD)
背散射电子衍射——菊池线
EBSD系统的工作原理
EBSD的应用
3.6 扫描电子显微镜的样品制备与上机操作
附录
Digital Micrograph简介
Carine晶体学分析软件.
参考文献