李新、魏广芬、吕品编著的《半导体传感器原理与应用(信息与通信工程高等学校电子信息类专业系列教材)》系统介绍了气敏、湿敏、热敏、磁敏、力敏、光敏和离子敏等半导体敏感元件与传感器的工作原理、制作工艺、特性参数及其应用举例，并介绍了半导体传感器技术的新发展。全书内容丰富，特色鲜明，各章 后配有习题。
本书适合用作高等学校电子科学与技术、电子信息科学与技术、微电子学等专业相关课程的教材，也可供从事半导体传感器技术、微电子技术研究的T程人员参考。

第1章 传感器的基础知识
1.1 传感器的基本概念
1.2 传感器的一般特性
1.2.1 传感器的静态特性
1.2.2 传感器的动态特性
1.3 传感器的标定
1.3.1 传感器的静态标定
1.3.2 传感器的动态标定
1.4 提高传感器性能的方法
小结
习题
第2章 半导体传感器敏感材料及典型工艺
2.1 半导体材料
2.1.1 硅材料特性
2.1.2 主要的硅化合物
2.2 电子陶瓷
2.2.1 电子陶瓷的特性
2.2.2 电子陶瓷的制备工艺
2.2.3 电子陶瓷的应用
2.3 有机敏感材料
2.4 金属敏感材料
2.5 常用加工技术
2.5.1 光刻工艺
2.5.2 腐蚀工艺
2.5.3 键合技术
2.5.4 微机械加工技术
2.5.5 LIGA技术
小结
习题
第3章 半导体气敏元件与传感器
3.1 金属氧化物的半导体化
3.2 表面电阻控制型气敏元件
3.2.1 烧结型SnO2气敏元件的结构
3.2.2 厚膜型和薄膜型SnO2气敏元件的结构
3.2.3 SnO2表面电阻控制型气敏元件的工作原理
3.2.4 气敏元件的特性参数
3.2.5 SnO2气敏元件的主要特性
3.2.6 烧结型SnO2气敏元件的制备T艺
3.3 氧化锌（ZnO）表面电阻控制型气敏元件
3.4 体电阻控制型气敏元件
3.4.1 氧化铁（Fe2O3）系传感器
3.4.2 半导体氧敏元件
3.5 ZrO2浓差电池型氧传感器
3.6 电压控制型气敏传感器
3.6.1 肖特基二极管气敏元件
3.6.2 气敏开关元件
3.6.3 MOS二极管气敏元件
3.7 催化金属栅场效应气敏传感器
3.7.1 MOSFET的r作原理
3.7.2 Pd-MOSFET氢敏元件
3.7.3 集成Pd-MOSFET氢敏元件
3.7.4 H2S气敏Pd栅MOs管
3.8 微热板基气体传感器
3.9 气敏传感器特性参数的测试条件与装置
3.10 气敏传感器的应用
小结
习题
第4章 半导体湿敏元件与传感器
4.1 湿度表示方法
4.2 湿敏元件与传感器分类
4.3 特性参数
4.4 半导体陶瓷湿敏元件
4.4.1 半导体陶瓷材料的感湿机理
4.4.2 烧结型半导体陶瓷湿敏元件
4.4.3 ZrO2-Y2O3系厚膜陶瓷湿敏元件
4.4.1 涂覆膜型Fe3O4湿敏元件
4.4.5 多孔Al2O3薄膜型湿敏元件
4.5 元素半导体湿敏元件
4.6 半导体结型和MOs型湿敏元件
4.7 电解质系湿敏传感器
4.7.1 无机电解质湿敏元件
4.7.2 高分子材料湿敏元件
4.8 湿敏元件的应用
4.8.1 湿敏元件的标定
4.8.2 湿敏元件的线性化
小结
习题
第5章 半导体热敏元件与温度传感器
5.1 热电阻
5.1.1 金属热电阻
5.1.2 半导体热敏电阻
5.1.3 硅温度传感器
5.2 半导体热敏二极管
5.2.1 热敏二极管工作原理
5.2.2 热敏二极管的基本特性
5.3 半导体热敏晶体管
5.4 集成温度传感器
5.4.1 电流型集成温度传感器
5.4.2 电压型集成温度传感器
5.4.3 集成温控开关
5.4.4 数字型集成温度传感器
5.5 热电偶传感器
5.5.1 热电偶的测温原理
5.5.2 热电偶基本定律
5.5.3 热电偶的结构
5.5.4 热电偶冷端温度补偿
5.5.5 热电堆
小结
习题
第6章 半导体磁敏元件与传感器
6.1 半导体的磁敏效应
6.2 霍尔元件
6.2.1 霍尔元件的结构
6.2.2 基本测试电路
6.2.3 电磁特性
6.2.4 霍尔元件的制备工艺
6.2.5 霍尔元件的特性参数
6.2.6 霍尔元件的补偿技术
6.2.7 基本电路
6.2.8 霍尔元件的应用
6.3 磁阻元件
6.3.1 几何磁阻效应
6.3.2 长方形磁阻元件
6.3.3 栅格结构型磁阻元件和科比诺磁阻元件
6.3.4 磁阻元件的特性参数
6.3.5 磁阻元件的制备工艺
6.3.6 磁阻元件的应用举例
6.3.7 巨磁阻传感器
6.4 磁敏二极管
6.4.1 磁敏二极管的结构和工作原理
6.4.2 磁敏二极管的特性参数
6.4.3 磁敏二极管的温度补偿
6.5 磁敏三极管
6.5.1 磁敏三极管的结构
6.5.2 磁敏三极管的工作原理
6.5.3 磁敏三极管的特性参数
6.5.4 磁敏三极管的温度补偿技术
6.6 磁敏集成电路
6.6.1 双极型霍尔开关集成传感器
6.6.2 双极型霍尔线性集成传感器
6.7 微型磁通门
6.7.1 磁通门工作原理
6.7.2 磁通门制作工艺
小结
习题
第7章 半导体力敏元件与传感器
7.1 力学的基本概念
7.2 电阻应变片
7.3 扩散硅压阻式压力传感器
7.3.1 半导体的压阻系数
7.3.2 压阻式压力传感器的结构设计
7.3.3 压阻式压力传感器的制备工艺
7.3.4 硅压阻式传感器的测量电路
7.3.5 压阻式压力传感器的温漂补偿技术
7.3.6 差压传感器结构
7.3.7 压阻式加速度传感器
7.3.8 集成压力传感器