在我们的日常生活中，很多人的脑子里都充斥着“薄膜”一词，他们围绕着薄膜夜以继日地开展工作，从事研究、学习和相互交流。可以说制作薄膜、使用薄膜以及从事薄膜相关产业的人遍布世界各地。

麻莳立男所著的《微小世界里的新天地：神奇的薄膜》主要介绍了薄膜相关领域的前辈们留下的这一技术中的基础内容。如果读者希望更深入地了解和研究这一领域，可以查找卷末列出的参考书籍和参考文献，从中获取自己需要的相关信息。

在我们生活的世界中，各种各样形形色色的事物和现象，其中都必定包含着“科学”的成分。在这些成分中，有些是你所熟知的，有些是你未知的，有些是你还一知半解的。面对未知的世界，好奇的你是不是有很多疑惑、不解和期待呢？“形形色色的科学”趣味科普丛书，把我们身边方方面面的科学知识活灵活现、生动有趣地展示给你，让你在畅快阅读中收获这些鲜活的科学知识！

我们最新式的笔记本电脑和手机在变得越来越小的同时，性能却得到了几倍几十倍的提升。正是因为薄膜这种尖端的纳米技术，我们的生活中才有了大屏幕超薄液晶电视、超大容量存储媒介、越来越轻巧功能却越来越强大的各种电子产品。就让麻莳立男所著的这本《微小世界里的新天地：神奇的薄膜》为你生动地讲解一下这项支撑现代高科技社会的基础技术吧。

《微小世界里的新天地：神奇的薄膜》适合青少年读者、科学爱好者以及大众读者阅读。

第1章 幸福生活从美丽与微观开始

 001 展现缤纷色彩的颜料用微小粉末描绘美丽世界 002

 002 复制美丽——相片彩色相片与数码相机 004

 003 薄膜技术使机器人不断进化利用薄膜材料与计算机进行精密制备 006

 004 创造五种感官视觉、听觉、嗅觉、味觉与触觉的创造 008

 005 制造人工智能 010

 006 我们身边的电子产品都在使用薄膜 012

 007 利用不分解的压延技术,可以薄到什么程度 014

 008 制造薄膜与制作精细图案 016

 COLUMN 真空的含义 018

第2章 制备薄膜的重要环境条件——真空

 009 真空——压强低于大气压的空间状态 020

 010 真空的单位与压强的单位：帕斯卡(Pa) 022

 011 抽出和吸附——真空泵的分类 024

 012 真空的分析和测量真空计 026

 013 真空装置的制造方法 028

 COLUMN 质量瞬移 030

第3章 薄膜的制备

 014 薄膜的形成——先气化,再固化沉积 032

 015 四种气化源034

 016 单层生长与形核长大薄膜的生长① 036

 017 薄膜内部缺陷薄膜的生长② 038

 018 仅有薄膜还不够薄膜与基板的结合 040

 019 目标：单晶薄膜 042

 COLUMN 出身和教育同样重要044viv

第4章 薄膜特有的性质

 020 薄膜的密度和厚度会随时间减小 046

 021 薄膜电阻的变化比体材料大 048

 022 热稳定性降低通过时效处理加以克服 050

 COLUMN 薄膜和基板的连接 052

第5章 增强基板与薄膜结合的技术

 023 制膜的基础：平整的基板 054

 024 前期处理：使基板表面完全裸露 056

 025 前期处理的最后工序：干燥 058

 026 制备附着强度更强的薄膜 060

 027 改变气化源、增加附着强度 062

 028 薄膜与基板的相合性更为重要 064

 029 着陆点：险峻的山地 066

 030 得到希望的薄膜组成 068

 031 制造用于大面积集成电路的非晶薄膜 070

 032 电迁移断线及其解决方法 072

 COLUMN 太阳之子——等离子体 074

第6章 等离子体在薄膜制备中的重要性

 033 等离子体的神奇之处及其应用 076

 034 通过放电获得等离子体 078

 035 低气压(良好真空)下的磁控放电 080

 036 产生薄膜用等离子体的五种方法 082

 037 薄膜制备的难题——尘埃 084

 COLUMN 望远镜和照相机视场变亮的奥秘 086

第7章 从古代沿用至今的蒸镀法

 038 蒸发源 088

 039 加工等厚膜的方法 090

 040 离子镀的使用 092

 041 进一步发挥离子的作用 094

 042 防止蒸镀材料与薄膜间的成分变化激光沉积法 096

 043 制作透明导电的薄膜透明导电薄膜的蒸镀方法 098

 COLUMN 活学活用 100

第8章 大面积气化源、适于批量生产的溅射法

 044 溅射率是由离子能量和薄膜材料的种类决定的 102

 045 溅射产生的原子遵循余弦法则且速度非常快 104

 046 溅射的主要方式106

 047 以低电压、定压(高真空)为目标的磁控溅射 108

 048 支撑半导体IC高集成度发展的铝合金溅射 110

 049 利用反应溅射制作高性能电阻膜 112

 050 用溅射法制作氧化物高温超导膜 114

 051 低电压下制造透明导电膜(氧化物)ITO 116

 052 薄膜加工的过渡——从平面成膜到微孔成膜 118

 053 利用离子进行超微细孔的填埋 120

 054 向高真空、无氩气溅射的过渡 122

 COLUMN 神奇的过程——从气体到薄膜 124

第9章 由气体制作薄膜的气相沉积法

 055 气体向固体的转变：薄膜的气相沉积 126

 056 很多的CVD方法已被实用化 128

 057 CVD法制备IC中至关重要的硅系薄膜 130

 058 高清彩色电视用的硅薄膜 132

 059 高诱电率薄膜和低诱电率薄膜的制作 134

 060 用气相沉积法制备金属导体薄膜 136

 061 表面改性法制备氧化薄膜、氮化薄膜 138

 COLUMN 从水(液体)中提取薄膜(固体) 140

第10章 在液体中制作镀膜

 062 镀膜技术的发展 142

 063 液相镀膜和真空薄膜中的核生长 144

 064 精密镀膜在电气领域的应用 146

 COLUMN 用世界上最小的刀进行切削加工148

第11章 将薄膜加工成电路、晶体管等的蚀刻技术

 065 蚀刻法制备图样：在正确的位置加工正确的形状 150

 066 用气体离子进行蚀刻 152

 067 最关键的一步——等离子体的制备 154

 068 反应气体是重要的 156

 069 决定蚀刻的条件 158

 070 利用极细离子束进行故障修理 160

 071 利用CMP进行平坦化处理 162

 072 无CMP的平坦化技术 164

 COLUMN 向伟大的梦想前进！ 166

第12章 薄膜发展的无限可能性

 073 操控原子，制造未来仪器 168

 074 薄膜——带动世界通信网络发展 170

 075 用微动同步器挽救生命 172

 076 生物计算机的使用 174

参考文献 177