罗伯特·奥西安德、M.安·加里森·达林、约翰·L.钱皮恩编著的《微机电系统和微结构及其在航天中的应用》内容主要涵盖了微机电系统技术本身、微机械结构、器件（部件）和系统在航天领域应用中需要特别考虑和研究的方方面面，具体包括： ①微机电部件和系统技术概论； ②微机电系统技术在航天的使命； ③微细加工工艺； ④空间环境和太空辐射对航天用微机电器件的影响； ⑤MEMS技术在航天系统、仪器、通信、热控、导航、推进等方面的应用； ⑥MEMS封装、材料、可靠性和测试验证在航天应用中的考虑。总的来看，这本书基本概念比较清楚，内容丰富，具有一定的参考价值，适合航天、航空和MEMS技术领域的设计师、工程师、管理者和高校院所相关学科的科研人员、高年级本科生、研究生和相关科技人员阅读。

罗伯特·奥西安德、M.安·加里森·达林、约翰·L.钱皮恩编著的《微机电系统和微结构及其在航天中的应用》共16章，主要内容包括：概论，微机电系统技术在航天任务中的应用前景，MEMS加工技术，空间环境因素对MEMS技术的影响，空间辐射影响和微机电系统，MEMS技术在空间系统的应用，微加工技术在科学仪器方面的应用，微机电系统在航天器通信中的应用，航天器热控制中的微系统，航天器制导、导航和控制中的微系统，微推进技术，空间应用的MEMS封装技术，关键性空间应用的处理与污染控制考虑，MEMS应用的材料选择，基于空间的MEMS设计和应用的可靠性测试，航天微机电系统与微结构的保障方法等。

《微机电系统和微结构及其在航天中的应用》适合航天、航空和MEMS技术领域的设计师、工程师、管理者和高校院所的相关学科的科研人员、高年级本科生、研究生和相关科技人员阅读。

第1章 概论

 1.1 概述

 1.2 背景和意义

 1.3 航天用的MEMS器件

1.3.1 数字微型推进项目STS93

1.3.2 皮卫星任务

1.3.3 天蝎座亚轨道示范

1.3.4 基于MEMS的微型卫星侦察器系列

1.3.5 导弹和军火惯性测量单元

1.3.6 蛋白石、蓝宝石和绿宝石

1.3.7 国际案例

 1.4 微机电系统和微结构在航天中的应用

1.4.1 对MEMS的理解和MEMS的展望

1.4.2 航天系统和仪器中的MEMS

1.4.3 卫星分系统中MEMS

1.4.4 MEMS技术航天领域应用的插入点

 1.5 小结

 参考文献

第2章 MEMS技术在航天任务中的应用前景

第3章 MEMS加工

第4章 空间环境因素对微纳米技术的影响

第5章 空间辐射影响和微机电系统

第6章 微纳米技术在空间系统的应用

第7章 微加工技术在科学仪器方面的应用

第8章 微机电系统在航天器通信中的应用

第9章 航天器热控制中的微系统

第10章 航天器制导、导航和控制中的微系统

第11章 微推进技术

第12章 空间应用的MEMS封装技术

第13章 关键性空间应用的处理与污染控制的考虑

第14章 MEMS应用的材料选择

第15章 基于空间的MEMS设计和应用的可靠性测试

第16章 航天微机电系统与微结构的保障方法