本书系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计的原理和方法。内容包括：稀薄气体分子运动理论，气体的吸附和脱附，真空中的电现象，真空中气体在管道中的流动，容积式真空泵、动量传递式真空泵、气体捕集式真空泵的工作原理、结构特点和设计方法，真空测量仪器仪表的原理和使用，真空检漏方法，真空系统的组成，真空系统元件，真空密封，真空材料和真空卫生等。本书是东北大学真空与流体工程研究中心教师多年教学和科研的成果总结，既注重真空技术中的知识体系，又反映真空技术中的最新发展，具有很强的针对性和实用性。

本书系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计的原理和方法。主要内容包括：稀薄气体分子运动理论、吸附与脱附、真空中的电现象、真空中的气体流动、真空泵的分类与性能、容积式真空泵、动量传递式真空泵、气体捕集式真空泵、真空测量、真空检漏、真空系统的组成、真空系统元件及连接、真空系统中常用材料和真空卫生、真空系统的设计计算等。本书既注重真空技术中的知识体系，又反映真空技术中的最新发展，具有很强的针对性和实用性。

本书可作为高等院校真空技术与设备、过程设备与控制工程、材料科学与工程、物理等相关专业本科生、研究生的学习教材，也可供真空技术应用、真空设备制造与使用单位的工程技术人员参考。

1 绪论

2 稀薄气体分子运动理论

3 吸附与脱附

4 真空中的电现象

5 真空中的气体流动

6 真空泵的分类和性能

7 容积式真空泵

8 动量传递式真空泵

9 气体捕集式真空泵

10 真空测量

11 真空检漏

12 真空系统的组成

13 真空系统元件及连接

14 真空系统中常用材料和真空卫生

15 真空系统的设计计算

参考文献