本书为《中国科学院研究生教学丛书》之一。
本书系统地介绍了X射线荧光光谱分析的理论、测试技术和实际应用，以及近年来的重要进展。书中重点论述了波长色散和能量色散X射线荧光光谱所涉及的基本理论和实验技术、理论强度计算公式、基体校正、样品制备、定量分析和光谱仪结构性能等内容。此外，《X射线荧光光谱分析》还对近年来提出的半定量分析、薄膜和镀层分析、不确定度评定、化学计量学研究在X射线荧光光谱分析中的应用及普通波长色散X射线荧光光谱仪在化学态分析中的应用等领域作了专门论述。
本书概念清晰、图文并茂、结合实际，既可作为综合性大学及理工科院校化学及化学工程专业学生和教师的教学用书，也可供从事X射线荧光光谱分析的工作者和科学研究人员参考。

前言
绪论
第一篇 X射线荧光光谱基本原理
第一章 X射线物理学基础
§1.1 X射线的本质和定义
§1.2 X射线光谱
§1.3 莫塞莱定律
§1.4 X射线与物质的相互作用
§1.5 布拉格定律
§1.6 俄歇效应和荧光产额
§1.7 谱线分数
参考文献
第二章 X射线荧光强度的理论计算
§2.1 概述
§2.2 激发因子
§2.3 X光管原级谱的强度分布和谱仪的几何因子
§2.4 一次（原级）荧光强度的计算
§2.5 二次（次级）荧光强度的计算
§2.6 三次（第三级）荧光强度的计算
§2.7 X射线荧光相对强度理论计算的小结
参考文献
第二篇 X射线荧光光谱仪的结构和性能
第三章 激发源和探测器
§3.1 概述
§3.2 激发源
§3.3 探测器
参考文献
第四章 波长色散X射线荧光光谱仪的结构和性能
§4.1 概述
§4.2 光源
§4.3 原级谱滤光片
§4.4 通道面罩和准直器
§4.5 分光晶体
§4.6 探测器
§4.7 测角仪
§4.8 脉冲高度分析器
§4.9 系统软件
§4.10 波长色散X射线荧光光谱仪的性能测试方法
参考文献
第五章 能量色散和全反射X射线荧光光谱仪
§5.1 能量色散X射线荧光光谱仪
§5.2 谱峰位和谱强度数据的提取
§5.3 基体校正
§5.4 全反射X射线荧光光谱仪
参考文献
第三篇 X射线荧光光谱定性和定量分析
第六章 基本参数法和影响系数法
§6.1 概述
§6.2 元素间吸收增强效应
§6.3 基本参数法
§6.4 理论影响系数法
§6.5 基本参数法和理论影响系数法的应用
§6.6 经验系数法
参考文献
第七章 实验校正法
§7.1 校正曲线法
§7.2 内标法
§7.3 标准加入法和标准稀释法
参考文献
第八章 定性和半定量分析
§8.1 概述
§8.2 定性分析
§8.3 半定量分析
参考文献
第九章 定量分析
§9.1 概述
§9.2 波长色散谱仪定量分析条件的选择
§9.3 能量色散谱仪定量分析条件的选择
§9.4 校正曲线的制定
§9.5 定量分析方法简介
§9.6 定量分析方法的准确度评价
§9.7 仪器漂移的校正
参考文献
第十章 薄膜和多层膜分析
§10.1 薄试样和厚试样
§10.2 单层和多层膜的荧光强度计算
§10.3 非无限厚试样的定量分析
参考文献
第四篇 样品制备和不确定度评定
第十一章 样品制备
§11.1 基本概念
§11.2 样品的预加工
§11.3 固体样品的制备方法
§11.4 液体样品的制备方法
§11.5 富集技术在样品制备中的应用
参考文献
第十二章 不确定度评定
§12.1 基础知识
§12.2 不确定度的评定
§12.3 X射线荧光光谱定量分析中的不确定度来源
§12.4 结语
参考文献
第五篇 化学计量学和化学态分析
第十三章 化学计量学研究在X射线荧光分析中的应用
§13.1 概述
§13.2 基体校正方程与化学计量学之间的关系
§13.3 偏最小二乘法
§13.4 因子分析
§13.5 模式识别
§13.6 神经网络
§13.7 知识工程
参考文献
第十四章 波长色散X射线荧光光谱仪在化学态分析中的应用
§14.1 概述
§14.2 高分辨率X射线荧光光谱仪
§14.3 普通波长色散X射线荧光光谱仪分辨率的测定及改善
§14.4 谱处理方法
§14.5 X射线荧光光谱仪在化学态分析中的应用
参考文献
附录
附录1 吸收限波长和临界激发能量
附录2 特征X射线波长和能量
附录3 辐射跃迁几率
附录4 K系伴线波长(A)
附录5 荧光产额和Coster-Kronig跃迁几率
附录6 以LnτJ=∑Ai，j{Ln[E(keV)]}i式计算光电吸收截面τi(靶／原子)
附录7 以LnσC=∑Ai，j{Ln[E(kev)])i式计算非相干碰撞截面σC(靶／原子)
附录8 以LnσR=∑Ai，j{Ln[E(kev)]}i式计算相干碰撞截面σR(靶／原子)
附录9低能Ka线总质量吸收系数
附录10 特征x射线Siegbahn标识和IUPAC标识之间对应关系