本书全面系统地介绍了精密纳米计量学的相关知识，重点讲述了精密纳米制造中测量角度和位移的光学传感器，提出了改善传感器灵敏度和带宽，减小传感器尺寸的技术，并开发了新的多轴传感方法；同时，详细介绍了精密纳米计量中用于表面形状和平台运动的扫描型测量系统，阐述了纳米制造中最基本的几何形状的测量误差分离算法和系统；最后对微观非球面的测量，纳米制造中微纳结构的精密纳米计量，以及长结构的微观尺寸的快速、准确测量等进行了介绍。
本书适用于从事精密纳米计量学研究的科研人员、工程技术人员使用，也适合高等院校精密机械、半导体、微电子等学科的研究生学习或参考使用，对尖端武器装备研发设计和精密纳米制造基础研究等领域也有参考价值。

第1章 测量表面斜率和倾斜运动的角度传感器
1.1 概述
1.2 带有象限光电二极管的角度传感器
1.3 带有光电二极管阵列的角度传感器
1.4 带有单单元光电二极管的角度传感器
1.5 小结
参考文献
第2章 用于测量多轴倾斜运动的激光自准直仪
2.1 概述
2.2 双轴激光自准直仪
2.3 单镜头激光微型自准直仪
2.4 三轴激光自准直仪
2.5 小结
参考文献
第3章 用于测量面内运动的表面编码器
3.1 概述
3.2 用于MDOF面内运动的表面编码器
3.2.1 多探针型MDOF表面编码器
3.2.2 扫描激光光束型MDOF表面编码器
3.3 表面编码器两轴正弦网格的制造
3.3.1 制造系统
3.3.2 制造误差的分析和补偿
3.4 表面编码器在表面电机驱动平面阶段的应用
3.4.1 平台系统
3.4.2 平台性能
3.5 小结
参考文献
第4章 用于测量平面内和平面外运动的光栅编码器
4.1 概述
4.2 二自由度线性光栅编码器
4.3 带正弦网格的三轴光栅编码器
4.4 矩形XY-网格的三轴光栅编码器
4.5 小结
参考文献
第5章 测量圆度的扫描多感器系统
5.1 引言
5.2 斜率传感器方法
5.3 混合方法
5.4 小结
参考文献
第6章 测量直线度的扫描误差分离系统
6.1 概述
6.2 具有自调零的三位移传感器方法
6.2.1 三位移传感器法和零点调整误差
6.2.2 具有自调零的三位移传感器方法
6.3 机床滑块的误差分离方法
6.3.1 精密机床的滑动直线度误差
6.3.2 滑动直线度测量的误差分离方法
6.4 小结
参考文献
第7章 微型非球面测量的扫描微测针系统
7.1 引言
7.2 扫描误差运动补偿
7.3 微测针探头
7.3.1 微球玻璃管测针
7.3.2 轻敲式微测针
7.4 微型非球面的小型测量仪器
7.5 小结
参考文献
第8章 用于微纹理表面测量的大面积扫描探针显微镜
8.1 概述
8.2 电容式传感器补偿的扫描探针显微镜
8.3 线性编码器补偿的扫描探针显微镜
8.4 螺旋扫描探针显微镜
8.5 小结
参考文献
第9章 测量三维纳米结构的自动对准扫描探针显微镜系统
9.1 概述
9.2 自动对准光学探针
9.2.1 对准原则
9.2.2 对准程序
9.3 自动对准AFM的仪器
9.3.1 仪器设计
9.3.2 仪器性能
9.4 小结
参考文献
第10章 微尺寸测量的扫描图像传感器系统
10.1 概述
10.2 使用扫描区域图像传感器测量微宽度
10.2.1 长工具狭缝的微宽度
10.2.2 狭缝宽度的评估
10.2.3 扫描区域图像传感器
10.2.4 生产线上的狭缝宽度测量
10.3 使用扫描行图像传感器测量微小半径
10.3.1 长工具边缘的微小半径
10.3.2 评估边缘半径
10.3.3 生产线上的边缘半径测量
10.4 小结
参考文献