当今，随着低温等离子体技术的不断发展，国内外学者对该领域的科研成果的应用及研究愈发关注。本书是对低温等离子体中反应性气体放电特性的较为全面和系统的研究。全书内容主要分为两篇：第一篇为低温低气压反应性气体放电，主要介绍了低温等离子体放电的基础知识、研究了射频SiH4放电特性和二维甚高频放电中相位差对SiH4、SiH4/H2等反应气体放电特性的影响，以及SiH4/NH3/N2等反应气体放电特性；第二篇为低温大气压反应性气体放电，主要介绍了低温大气压等离子体放电的基础知识、大气压乙炔微等离子体放电，以及乙炔微放电中模式转换现象。本书比较系统地介绍了反应性气体放电特性，并给出了相应结论，为优化等离子体工艺提供了必要的科学依据以适用大部分科研人员的需要。
本书可作为高等学校等离子体物理专业初学者及相关专业科研人员的参考用书。

第一篇 低温低气压反应性气体放电
第1章 低温低压等离子体物理基础
1.1 低温等离子体物理简介
1.2 低温等离子体源
1.3 低温等离子体放电的研究方法
1.4 本章小结
第2章 射频SiH4放电（一维模拟）
2.1 SiH4气体研究背景
2.2 硅烷等离子体放电特性
2.3 纳米颗粒特性
2.4 模拟结果与讨论
2.5 本章小结
第3章 甚高频SiH4、SiH4/H2放电（二维模拟）
3.1 引言
3.2 二维模型描述
3.3 模拟结果与讨论
3.4 本章小结
第4章 SiH4/NH3/N2放电
4.1 引言
4.2 低频脉冲SiH4/NH2/N2放电
4.3 双频SiH4/NH3/N2放电
4.4 本章小结
第二篇 低温大气压反应性气体放电
第5章 低温大气压等离子体物理基础
5.1 大气压等离子体物理简介
5.2 大气压气体放电形式
5.3 大气压等离子体放电的研究方法
5.4 本章小结
第6章 大气压乙炔微等离子体放电
6.1 引言
6.2 模型描述
6.3 模拟结果与讨论
6.4 本章小结
第7章 乙炔微放电中模式转换现象
7.1 引言
7.2 模型描述
7.3 模拟结果与讨论
7.4 本章小结
结论
参考文献