章微传感系统概述/1
1.1微系统概述/2
1.1.1微系统的概念/2
1.1.2微系统的基本特点/3
1.2微传感系统的概念/5
1.2.1微传感器/5
1.2.2集成微传感器/6
1.2.3微传感器系统/7
1.2.4微传感系统的主要特点/8
1.3微传感系统的基本特性/10
1.3.1微传感器的静态特性/10
1.3.2微传感器的动态特性/14
1.3.3微传感器的分类/15
1.4微传感系统的常用材料/17
1.4.1单晶硅与多晶硅/17
1.4.2氧化硅和氮化硅/19
1.4.3半导体敏感材料/19
1.4.4陶瓷敏感材料/20
1.4.5高分子敏感材料/23
1.4.6机敏材料/25
1.4.7纳米材料/26
1.5微传感系统的产业现状与发展趋势/27
1.5.1产业现状/27
1.5.2发展趋势/29
参考文献/32
第2章微系统制造技术/33
2.1微制造概述/34
2.2硅基MEMS加工技术/37
2.2.1体微机械加工技术/38
2.2.2表面微机械加工技术/41
2.2.3小结/44
2.3聚合物MEMS加工技术/45
2.3.1SU-8/46
2.3.2聚酰亚胺（PI）/49
2.3.3ParyleneC/51
2.4特种微加工技术/55
2.4.1电火花微加工技术/55
2.4.2激光束微加工技术/57
2.4.3电化学微加工技术/60
2.5封装与集成技术/63
2.5.1引线键合技术/65
2.5.2倒装芯片技术/66
2.5.3多芯片封装技术/67
2.5.43D封装技术/68
参考文献/68
第3章硅基微传感技术与应用/71
3.1硅基压阻式传感器/72
3.1.1硅基压阻式传感器原理/72
3.1.2典型的硅基压阻式传感器/72
3.2硅基电容式传感器/78
3.2.1电容式传感器原理/78
3.2.2典型的硅基电容式传感器/78
3.3硅基压电式传感器/83
3.3.1压电式传感器原理/83
3.3.2MEMS压电触觉传感器/83
3.3.3MEMS电流传感器/88
3.3.4MEMS声学传感器/91
3.3.5MEMS力磁传感器/92
3.3.6MEMS病毒检测传感器/94
参考文献/95
第4章非硅基柔性传感技术/98
4.1柔性传感器的特点和常用材料/99
4.1.1柔性传感器的特点/99
4.1.2柔性基底材料/101
4.1.3金属导电材料/101
4.1.4碳基纳米材料/104
4.1.5纳米功能材料/106
4.1.6导电聚合物材料/107
4.2非硅基柔性触觉传感器/108
4.2.1柔性触觉传感原理/109
4.2.2柔性触觉传感器发展趋势/118
4.3生理信号传感技术/119
4.3.1柔性温度传感/119
4.3.2柔性心率传感/121
4.3.3柔性血压传感/125
4.3.4生物传感器/126
4.3.5关键技术挑战/128
4.4非硅基柔性传感技术应用举例/130
参考文献/135
第5章自供能微传感系统/138
5.1自供能微传感系统与能量收集技术/139
5.1.1自供能微传感系统概述/139
5.1.2能量收集技术/139
5.2振动能量收集技术/142
5.2.1压电式振动能量收集技术/142
5.2.2电磁式振动能量收集技术/153
5.2.3静电式振动能量收集技术/163
5.2.4摩擦电式振动能量收集技术/167
5.3风能收集技术/176
5.3.1旋转式风能收集技术/177
5.3.2颤振式风能收集技术/179
5.3.3涡激振动式风能收集技术/181
5.3.4共振腔式风能收集技术/184
5.4自供电微传感系统应用举例/186
参考文献/192
第6章新兴微传感系统应用展望/199
6.1新兴功能材料在微纳传感系统的应用展望/200
6.1.1金属功能材料/200
6.1.2非金属功能材料/201
6.1.3有机高分子材料/204
6.1.4量子点/207
6.2新兴微传感系统在智慧工农业领域的应用/207
6.2.1新兴微传感系统在智慧工业物联网领域的应用/208
6.2.2新兴微传感系统在智慧农业领域的应用/211
6.3新兴微传感系统在生物医疗领域的应用展望/214
6.3.1可穿戴医疗设备/214
6.3.2植入式医疗设备/218
参考文献/221
索引/223

本书详细介绍了硅基微传感系统和非硅基微传感系统的设计、性能、制备、特征、表征以及测试和应用, 并对微传感系统相关的微纳加工技术做了简要介绍。
本书适宜从事传感系统设计以及机械、材料等相关专业人士参考。