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内容推荐 本书内容涵盖了薄膜光学基本概念与理论、非理想界面及膜层的光学特性、应用于不同薄膜材料对象的各种色散关系等理论内容;本书也对常用镀膜材料、各种新颖薄膜结构的工艺特性,以及这些薄膜材料光学性能的理论表征方法、制备过程监控等关键技术进行了深入剖析。 目录 章引言 1.1概述 1.2薄膜物理与固体物理 1.3小议光学薄膜制备 1.3.1PVD和CVD技术 1.3.2关于PIAD的一些考虑 1.3.3特性关联 1.4本书的内容与组织结构 参考文献 部分基础篇 第己章光学常数的基本知识 2.1线性光学的基本经典色散模型 2.2介电函数的解析性质 2.3经典图像下的光学常数与质量密度 2.4经常用于薄膜表征实践的其他色散模型:经典以及不错模型 2.4.1基本评述 2.4.2Brendel模型 2.4.3Tauc-Lorentz模型 2.4.4Cody-Lorentz模型 2.4.5ForouhiBloomer模型 2.5材料混合物 2.5.1总体思路 2.5.2MaxwellGarnett(MG)方法 2.5.3Lorentz-Lorenz(LL)方法 2.5.4等效介质近似(EMA)或Bruggeman方法 2.5.5基于MaxwellGarnett(MG)方法的一个模型计算 参考文献 第3章平面界面 3.1菲涅耳公式 3.2真实的薄膜,真实的表面 3.2.1一些试验结果 3.2.2光学各向同性评述 3.2.3光学不均匀性评述 3.2.4表面粗糙度评述 3.3突变界面与连续形貌的对比 3.4强度系数 参考文献 第4章薄膜、基底和多层膜 4.1单层膜 4.1.1通用方程 4.1.2半波长膜层 4.1.31/4波长膜层 4.1.4存在微弱折射率梯度的膜层(正入射情形下) 4.2基底 4.3基底上的单层膜 4.4多层膜 4.5范例 4.5.1均匀的1/4波长和半波长膜层 4.5.21/4波长双层膜系 4.5.31/4波长(QW)膜堆 4.5.4布拉格反射镜 4.5.5皱褶滤光片 4.5.6窄带滤光片(NBP) 参考文献 第二部分逆向搜索过程 第5章薄膜光学常数的试验确定 5.1试验技术 5.1.1离线光度法 5.1.2热漂移或真空漂移的测试 5.1.3薄膜生长过程中的在线透过率光谱 5.1.4椭偏法评述 5.2基底的光学参数 5.3薄膜:光学带隙的快速确定 5.4薄膜:包络法 5.4.1正入射 5.4.2倾斜入射 5.5薄膜:基于振子模型的曲线拟合程序 5.5.1常规数学方法 5.5.2数据间隔选取的一些考虑 5.5.3范例 5.5.4与其他方法相比的一致性程度 5.6薄膜:不显性使用色散模型情况下的光学常数确定 5.7基于在线透过率数据的多层膜系统的直接再优化工程 参考文献 第6章膜系设计中的材料问题 6.1引言 6.2通用规则 6.2.1一个可解定理和基于极大值原理的几个推论 6.2.2截止波长和可实现的折射率范围 6.2.3倾斜入射 6.31/4膜堆和光学常数 6.4宽带减反膜和光学常数 6.5可行性分析与计算制造 6.5.1动机 6.5.2关于计算制造运行的思路 6.5.3误差数据的获取 6.5.4范例:增益平坦滤光片 6.5.5将计算制造整合入薄膜生产链 参考文献 第三部分用于紫外/可见波段应用的基本镀膜材料 第7章氧化物薄膜:多孔薄膜与致密薄膜 7.1引言 7.2最简化的理论考虑 7.3重要氧化物镀膜材料的参数关联 7.3.1二氧化钛TiO2 7.3.2五氧化二铌Nb2O5 7.3.3五氧化二钽Ta2O5 7.3.4二氧化锆ZrO2 7.3.5二氧化铪HfO2 7.3.6三氧化二铝Al2O3 7.3.7二氧化硅S1O2 参考文献 第日章其他紫外/可见波段的镀膜村料 8.1氟化物薄膜 8.2作为真空紫外反射镜的氟化物增强型铝膜 8.3反射镜中的银膜 8.4有机薄膜及其衍生物 8.4.1非晶氢化碳膜 8.4.2有机分子薄膜的特性:范例 8.4.3扩展细节:分子光谱半经典描述的基本思想 参考文献 第四部分亚波长和纳米结构薄膜 第9章异构薄膜:概述 9.1一种分类尝试 9.2光栅波导结构 9.2.1总体思路 9.2.2传输模和光栅周期 9.2.3吸收的影响 9.2.4范例:窄线宽反射镜设计 参考文献 …… 0章强烈多孔材料和表面结构 1章电介质混合物 2章金属岛状薄膜 3章结束语 附录A 附录B 附录C 附录D |