本书主要讲述了多晶硅生产过程中所涉及到的一系列相关检测活动及基本要求介绍。内容包括多晶硅检测实验室基本要求、相关分析检测设备介绍、原辅材料检测、中间控制检测、生产环境监测、多晶硅生产常规电学参数检测、多晶硅中杂质含量检测、生产分析废弃物处置等核心内容。同时对实验室用超纯水的制备，实验室用气的制备和净化作了简单介绍，列举了实际检测过程中涉及到的相关检测设备，详细介绍了设备理论方面的基础知识，还给出了大量应用实例，本书紧密结合生产实践需求，注重了理论与实践的有机结合。

第1章 多晶硅检测实验室基本要求
1.1 实验室用水
1.2 实验室用电
1.3 实验室用气
1.4 实验室洁净要求
1.5 实验室电磁屏蔽要求
第2章 多晶硅生产用相关分析检测设备
2.1 便携式露点仪
2.2 便携式微量氧分析仪
2.3 气相色谱仪
2.4 气相色谱一质谱仪
2.5 紫外可见分光光度计
2.6 P—N导电型号测试仪
2.7 电阻率测试仪
2.8 少子寿命测试仪
2.9 傅里叶变换低温红外光谱仪
2.10 电感耦合等离子体光谱仪
2.11 电感耦合等离子体质谱仪
第3章 多晶硅生产用原辅材料检测
3.1 硅粉分析
3.2 工业用液氯分析
3.3 石灰分析
3.4 多晶硅原材料聚乙烯包装材料表面金属浓度的测试方法
3.5 无尘擦拭布中金属杂质的分析方法
3.6 电子级硝酸／氢氟酸
第4章 多晶硅生产中间控制检测
4.1 气体的测定
4.2 水质分析
4.3 氯硅烷分析
第5章 多晶硅生产环境检测
5.1 空气中氯化氢的测定硫氢酸汞分光光度法
5.2 空气中氯化氢的测定离子色谱法
5.3 空气中氯气的测定甲基橙分光光度法
5.4 噪声检测
5.5 工作场所空气中粉尘测定
第6章 多晶硅生产常规电学参数检测
6.1 非本征半导体材料导电类型测试方法
6.2 硅单晶电阻率测定(四探针法)
6.3 少子寿命的测定
第7章 多晶硅中杂质含量检测
7.1 多晶硅中施受主杂质检测
7.2 硅单晶中碳浓度检测
7.3 硅单晶中氧浓度检测
7.4 多晶硅中基体金属杂质检测
7.5 多晶硅表面金属杂质检测
第8章 多晶硅生产分析废弃物处置
8.1 分析废气的处置
8.2 废氯硅烷的处置
8.3 分析废液的处置
参考文献