第1章 声表面波理论
1.1 绪论
1.2 声表面波理论
1.3 声表面波传感器理论基础
参考文献
第2章 声表面波压力传感器
2.1 绪论
2.2 saw压力传感器的应用前景与国内外研究水平
2.3 saw谐振式压力传感器的组成及工作机理
2.4 saw压力传感器敏感膜片的力学模型
2.5 saw谐振器理论分析与设计
2.6 saw压力传感器信号检测与温度智能补偿
2.7 本章小结
参考文献
第3章 声表面波加速度传感器
3.1 绪论
3.2 悬臂梁的应力分析和传感原理
3.3 SAW加速度计模型
3.4 加速度传感器悬臂梁的几何尺寸设计
3.5 悬臂梁式SAW加速度计的信号特征及测量方案
3.6 介质阻尼对悬臂梁微机械系统的影响
3.7 悬臂梁式SAW加速度传感器系统设计
3.8 SAW加速度计的测量准确度
3.9 用浮动零点法消除温度对SAW加速度计测量准确度的影响
3.10 悬臂梁式加速度传感器信号处理技术
3.11 本章小结
参考文献
第4章 声表面波气体传感器
4.1 绪论
4.2 层状声表面波CO气体传感器理论
4.3 层状结构声表面波元件理论分析
4.4 掺杂In2O3聚苯胺CO气体敏感膜研究
4.5 SAWCO气体传感器制备
4.6 本章小结
参考文献
第5章 其他类型声表面波传感器以及声表面波传感器的温度补偿方法研究
5.1 绪论
5.2 声表面波角速度传感器
5.3 声表面波流量传感器
5.4 声表面波传感器温度补偿方法研究
5.5 本章小结
参考文献
第6章 声表面波传感器网络化及其应用
6.1 绪论
6.2 声表面波网络传感器研究
6.3 声表面波无线传感器网络节点研究
6.4 声表面波传感器网络化应用实例
6.5 本章小结
参考文献