《纳米科学与技术》丛书序

前言

第1章 光学曝光

 1.1 光学曝光系统的基本组成

 1.2 光学曝光的基本原理与特征

1.2.1 光学曝光的基本模式与原理

1.2.2 光学曝光的过程

1.2.3 分辨率增强技术

 1.3 短波长光学曝光技术

1.3.1 深紫外与真空紫外曝光技术

1.3.2 极紫外曝光技术

1.3.3 X射线曝光技术

1.3.4 LIGA加工技术

 1.4 光学曝光加工纳米结构

1.4.1 泊松亮斑纳米曝光技术

1.4.2 表面等离激元纳米曝光技术

1.4.3 基于双层图形技术的纳米加工

 1.5 光学曝光加工三维微纳结构

1.5.1 灰度曝光技术

1.5.2 基于欠曝光的三维曝光技术

1.5.3 基于菲涅耳衍射与邻近效应的三维曝光技术

 参考文献

第2章 电子束曝光技术

第3章 聚焦离子束加工技术

第4章 激光加工技术

第5章 纳米压印技术

第6章 刻蚀技术

第7章 薄膜技术

第8章 自组装加工

第9章 微纳加工在电学领域的应用

第10章 微纳加工在光学领域的应用

第11章 微纳加工在磁学领域的应用

第12章 微纳加工在其他领域的应用

索引

顾长志等编著的《微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与纳米器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工，以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势，在科学研究中的创新性应用与要注意的问题，以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。

《微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》可作为高等学校物理、化学、电子、材料、生物等专业研究生和高年级本科生的参考教材，也可供从事纳米科学与技术等相关领域研究的科技工作者参考。

顾长志等编著的《微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》是根据编著者在多年从事微纳加工研究工作经验积累以及人才培养和多次举办“微纳米加工技术讲习班”的基础上，结合国内外微纳加工及其应用的最新进展，撰写而成的。本书着重实用性和对基本概念的介绍，力图做到理论联系实际，突出微纳加工在科学研究中的创造性应用。全书共分12章，第1～8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术，包括光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工，既简要概述了各种加工方法的科学基础，又从实用出发，介绍了各种技术的主要工艺过程，特别涉及各种技术根据需要最新发展的一些创新方法；第9～12章按几个不同的领域，介绍了微纳加工技术在纳米材料与器件研究中的一些应用实例，包括电学、光学、磁学、生物等领域。这些成果深刻影响了当前纳米科学与技术的发展，希望能对从事相关领域研究的读者有所启发和借鉴。