目前与微电子技术相关的书籍、资料并不少，但有关微电子材料与制程方面的书较少。本书以微电子材料为对象，以材料和器件的制备工艺为主线，系统、全面地介绍了微电子材料与器件制备技术前沿问题与进展。全书分为12章，主要包括微电子材料的分类及性能、微电子器件中材料的选择、不同微电子材料与器件的加工工艺以及微电子材料的性能测试技术等。

本书适合有关专业的工程技术人员、研发人员阅读使用，也可作为材料科学与工程、电子科学与技术、化学工程、机械设计与制造等专业本科生、硕士生、博士生的教材使用，或作为相关专业研究生、本科生的教学参考书。

本书以微电子材料为对象，以材料和器件的制备工艺为主线，系统、全面地介绍了微电子材料与器件制备技术的前沿问题与进展。全书主要包括微电子材料的分类及性能、微电子器件中材料的选择、不同微电子材料与器件的加工工艺以及微电子材料的性能测试技术等。

本书适合微电子材料与器件制备领域的工程技术人员、研发人员阅读使用，也可作为高等院校材料科学与工程、电子科学与技术、化学工程、机械设计与制造等专业师生的教学用书。

1 概述

2 单晶

3 薄膜

4 光刻、铸造和压印

5 刻蚀与化学机械抛光

6 清洗与表面预处理

7 表面层改性

8 晶片键合技术

9 工艺集成

10 CMOS晶体管

11 MEMS工艺集成

12 微电子材料与器件性能测量分析

参考文献