前言
绪论
0.1 微分析学科的发展
0.2 学术交流的发展
0.3 学科期刊的发展
0.4 本书内容的安排
参考文献
第1章 有关的基础物理知识
1.1 有关的原子物理知识
1.2 有关的固体物理知识
1.3 有关的晶体衍射物理知识
参考文献
第2章 入射电子的弹性散射和非弹性散射
2.1 处理入射电子散射的量子力学方程
2.2 入射电子的微分弹性散射截面
2.3 入射电子的非弹性散射
2.4 原子对电子的散射截面和散射平均自由程
2.5 阻止本领和非弹性散射截面
2.6 介电函数方法
2.7 低能电子的非弹性散射平均自由程
2.8 低能电子的非弹性散射和能带结构的阈值效应
参考文献
第3章 电子束显微分析
3.1 扫描电子显微镜的主体结构与成像原理
3.2 场发射扫描电子显微镜的分辨率
3.3 扫描电子显微镜的信号
3.4 SEM中二次电子和背散射电子信号的采集及其能谱
3.5 透射电子显微镜(TEM)中显微像和衍射图样的获得
3.6 透射电子显微镜(TEM)的主要部件和成像模式
3.7 扫描电子显微像的形貌衬度
3.8 SEM中晶体取向的测定
3.9 X射线能谱(EDS)和波谱(WDS)分析
3.10 SEM中厚样品微区成分分析方法
3.11 TEM中薄膜微区成分EDS定量分析方法
3.12 薄膜微区成分的电子能量损失谱(EELS)定量分析
3.13 微区成分分析的空间分辨率和探测限
参考文献
第4章 固体中电子散射的蒙特卡罗模拟
4.1 蒙特卡罗方法简介
4.2 蒙特卡罗方法的基本原理和一般步骤
4.3 由已知概率分布进行的随机抽样
4.4 随机数与赝随机数
4.5 蒙特卡罗模拟固体中的电子散射
4.6 蒙特卡罗模拟固体中电子散射的一些结果
参考文献
第5章 电子显微像的像差和分辨率
5.1 成像原理中常用的傅里叶变换和卷积公式
5.2 透射电子束成像
5.3 磁透镜的像差
5.4 瑞利判据决定的显微像的分辨率
5.5 由电子束直径决定的扫描电子显微镜的分辨率
5.6 图像衬度(对比度)决定的显微镜分辨率
5.7 信息通过量密度决定的显微镜分辨率
5.8 分辨率的实验测量
5.9 离子显微镜的分辨率
参考文献
第6章 电子显微像的衬度
6.1 电子束的相干性和衍射振幅衬度
6.2 晶态和非晶态样品的衬度
6.3 衍射(振幅)衬度像
6.4 样品的质厚衬度和STEM中的Z衬度
6.5 SEM中的各种不相干信号的衬度
参考文献
第7章 高分辨透射电子显微像
7.1 高分辨电子显微像(HREM)的形成
7.2 高分辨像形成过程中的衬度传递函数
7.3 高分辨像的点分辨率和信息分辨率
7.4 高分辨像的计算
7.5 赝弱相位物的HREM
7.6 解卷高分辨像测定晶体结构
7.7 高分辨像和电子衍射图样相结合提高分辨率
7.8 电子全息术高分辨显微像
7.9 Lichte欠焦和衬度离位
7.10 原子级(亚埃级)分辨率透射电子显微术
7.11 原子级分辨率扫描透射电子显微术
7.12 原子级分辨率TEM和STEM的前景
参考文献
第8章 分析表面的电子显微术
8.1 低能电子衍射(LEED)
8.2 低能电子显微术及其应用
8.3 光电子(发射)显微术(PEEM)及其应用
8.4 其他低能电子显微方法
8.5 低能电子的非弹性散射的作用
8.6 反射高能电子衍射(RHEED)
8.7 反射电子显微术(REM)及其应用
8.8 俄歇电子显微术
参考文献
第9章 扫描探针显微术
9.1 扫描探针显微术简介
9.2 STM的工作原理及应用
9.3 扫描隧道电子显微术(STM)和扫描隧道电流谱(STS)的一些应用
9.4 自旋极化扫描隧道电子显微术和弹道电子发射显微术(BEEM)
9.5 原子力显微术(AFM)及其应用
9.6 扫描近场光显微术(SNOM)及其应用
参考文献
第10章 入射离子束和固体的作用
10.1 入射离子的弹性散射和非弹性散射
10.2 离子溅射和离子注入
10.3 离子束分析
10.4 聚焦离子束(FIB)仪
10.5 二次离子质谱(SIMS)
10.6 几种离子束和电子束成分分析方法的比较
10.7 场离子显微镜(FIM)
参考文献
第11章 入射X射线束和固体的作用
11.1 固体对X射线的吸收
11.2 光电子能谱
11.3 内层电子电离后的弛豫过程
11.4 俄歇电子能谱
11.5 X射线荧光分析(XRF)
11.6 微区及表层X射线荧光分析
11.7 软X射线显微术
参考文献