优选干涉检测技术是将经典的干涉系统与当前各种新颖的光电子器件及机电系统、高速发展的计算机技术紧密结合，从而实现目标信息多参数三维空间高精度检测的综合性技术。其在国防及国民经济、微电子、材料及生物医学各领域都有着广泛的应用。本书系统地论述了优选干涉检测技术所涉及的各方面光学原理及其应用。主要内容包括：干涉检测相关光学原理、常用干涉仪、共路干涉仪、剪切干涉仪、点衍射干涉仪、位相调制技术、非球面检测技术、干涉光谱技术、干涉图处理技术等。本书可作为光电信息科学与工程相关专业本科及研究生的专业课教材，也可作为光学精密仪器及光机电一体化相关科研工作者的参考书。

杨甬英，女，浙江大学光电信息工程学系教授、博导。杨老师是靠前外干涉检测领域有名的专家。近年来作为项目负责人承担了多项国家自然科学基金、国防973、国家863配套等项目。

第1章光及光的干涉
1.1光及光的特性
1.1.1光学简史
1.1.2光的电磁理论
1.1.3偏振
1.1.4光场叠加及干涉条件
1.1.5衍射
1.2光的干涉
1.2.1干涉条纹对比度与光的相干理论
1.2.2实际光波的干涉
1.2.3分波前法干涉
1.2.4分振幅法干涉
1.2.5干涉仪中的瞳和窗
习题
参考文献
第2章常见干涉仪
2.1牛顿干涉仪
2.1.1牛顿干涉仪基本原理
2.1.2光学车间检验中的牛顿干涉仪应用
2.2迈克耳逊干涉仪
2.2.1迈克耳逊干涉仪基本原理
2.2.2迈克耳逊干涉仪应用
2.3菲索干涉仪
2.3.1菲索干涉仪基本原理
2.3.2Fizeau干涉仪应用实例：ZYGO干涉仪
2.4泰曼-格林干涉仪
2.4.1泰曼-格林干涉仪基本原理
2.4.2Twyman-Green干涉仪应用
2.5瑞利干涉仪
2.5.1瑞利干涉仪基本原理
2.5.2瑞利干涉仪测定气体折射率
2.6马赫-曾德干涉仪
2.6.1马赫曾德干涉仪基本原理
2.6.2马赫曾德光纤传感
2.7法布里-珀涉仪
2.7.1法布里-珀涉仪原理
2.7.2主要应用
习题
参考文献
第3章共路干涉仪
3.1散射板干涉仪
3.1.1散射板干涉仪基本原理
3.1.2散射板干涉仪干涉光强分布
3.2剪切干涉仪
3.2.1平行平板横向剪切干涉仪
3.2.2萨瓦偏振镜干涉仪
3.2.3渥拉斯顿棱镜干涉仪
3.2.4交叉光栅横向剪切干涉仪
3.2.5波带片径向剪切干涉仪
3.2.6环形径向剪切干涉仪
3.3双焦干涉仪
3.3.1双焦干涉仪基本原理
3.3.2双焦干涉轮廓仪
3.4点衍射干涉仪
3.4.1点衍射干涉仪原理
3.4.2点衍射干涉仪的应用
3.5米勒干涉仪
习题
参考文献
第4章非球面检测技术
4.1非球面的基本概念
4.1.1非球面的定义与分类
4.1.2非球面的性质
4.2非球面零位检测
4.2.1无像差点法
4.2.2零位补偿镜检测技术
4.2.3计算全息零位检测
4.3非球面的非零位检测
4.3.1非零位检测技术
4.3.2部分补偿干涉检测
4.3.3子孔径干涉检测
4.4组合干涉检测技术
4.4.1零位检测与零位检测的组合
4.4.2零位检测与子孔径拼接检测的组合
4.4.3非零位检测与非零位检测的组合
4.5面形误差的重构
4.5.1基于二倍关系的重构
4.5.2基于理论波前的重构
4.5.3基于逆向迭代的重构
4.5.4误差分析
4.6子孔径拼接技术
4.6.1拼接算法
4.6.2子孔径划分
4.6.3子孔径拼接误差分析
4.6.4NASSI子孔径拼接与面形重构
习题
参考文献
第5章精密长度及振动测量干涉体系
5.1激光干涉测长技术
5.1.1激光干涉测长系统的工作原理
5.1.2激光光源的模式选择
5.1.3干涉测长的动镜选择
5.1.4干涉体系的可逆计数及移相
5.1.5白光干涉定位技术
5.2激光干涉测振技术
5.2.1激光干涉测振系统校准原理
5.2.2频率比测振
5.2.3贝塞尔函数测振
5.3外差技术
5.3.1外差测长原理
5.3.2外差测长的关键技术
5.3.3外差测长的应用
5.4纳米测试技术中的谐振增强技术
5.4.1AFM直流测量技术
5.4.2微弱信号检测的锁相技术
5.4.3AFM谐振增强技术
习题
参考文献
第6章干涉相位调制及解调技术
6.1时间相位调制及解调技术
6.1.1基本原理
6.1.2时间相位调制的实现方法
6.1.3时间相位解调方法
6.2空间相位调制及解调技术
6.2.1空间线性载波及解调
6.2.2频域泄漏效应的影响及处理
6.2.3环形径向剪切干涉测量系统
6.3偏振相位调制技术
6.3.1基本原理
6.3.2正交线偏振光相位调制系统
6.4同步移相技术
习题
参考文献
第7章干涉系统应用中的精密扫描与定位系统
7.1压电效应
7.1.1压电效应和压电晶体
7.1.2压电陶瓷逆压电效应的性质
7.2压电叠堆扫描系统
7.2.1压电扫描位移模块
7.2.2压电扫描控制
7.3压电扫描微位移器检测
7.4压电扫描微位移器应用举例
7.5压电直线电机
7.5.1蠕动式压电直线电机
7.5.2冲击式压电直线电机
7.6柔性铰链压电系统
7.6.1柔性铰链的基本模型结构
7.6.2柔性铰链压电扫描系统
7.7各种精密扫描与定位系统的比较
习题
参考文献
第8章新型干涉仪
8.1偏振光干涉仪
8.1.1偏振光干涉原理
8.1.2偏振光干涉仪及应用
8.2光纤干涉仪
8.2.1光纤基础知识
8.2.2常见光纤干涉仪
8.2.3光纤干涉仪的典型应用
8.3全息干涉仪
8.3.1全息基本原理
8.3.2全息干涉技术
8.3.3全息干涉仪的典型应用
8.4散斑干涉仪
8.4.1散斑基础
8.4.2散斑干涉测量
8.4.3散斑干涉仪的典型应用
习题
参考文献
第9章干涉光谱技术
9.1光谱仪器常见术语
9.1.1自由光谱区
9.1.2分辨本领
9.1.3光谱仪亮度和聚光本领
9.2光谱技术的发展及分类
9.2.1色散型光谱仪
9.2.2干涉型光谱仪
9.2.3其他的新型光谱仪
9.3干涉光谱技术
9.3.1空间分离型干涉光谱技术
9.3.2傅里叶变换干涉光谱技术
9.4干涉(傅里叶变换)成像光谱技术
9.4.1时间调制型干涉成像光谱仪
9.4.2基于三角共路(Sagnac)分束器的空间调制型干涉成像光谱仪
9.4.3基于偏振器件的空间调制型干涉成像光谱仪
9.4.4小结
9.5基于广角迈克尔逊干涉仪的干涉成像光谱仪
9.5.1概述
9.5.2广角迈克尔逊干涉仪的基本原理
9.5.3被动大气遥感中的广角迈克尔逊干涉仪
9.6高光谱分辨率激光雷达
9.6.1概述
9.6.2FP滤光器
9.6.3FWMI滤光器
9.6.4FPI和FWMI滤光器在HSRL中性能的比较
习题
参考文献
第10章干涉图分析中的关键技术
10.1迈克尔逊干涉图及其表示
10.2单幅闭合干涉图相位解调技术
10.2.1单幅闭合干涉图相位解的不........性
10.2.2正则化相位跟踪技术
10.2.3路径无关正则化相位跟踪技术
10.2.4正交多项式相位拟合技术
10.3两幅随机相移干涉图相位解调技术
10.4相位解包裹技术
10.4.1一维相位解包裹
10.4.2二维相位解包裹
10.5正交多项式波面拟合技术
10.5.1Zernike多项式
10.5.2Zernike多项式在非圆域上的正交化
10.5.3Zernike多项式波面拟合
习题
参考文献