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书名
基于机械-化学方法的微纳制造技术
分类
科学技术-工业科技-电子通讯
作者
史立秋
出版社
电子工业出版社
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简介
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本书共6章, 叙述了应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过程及其表征与分析, 并对后期的应用进行系统的研究。
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更新时间:2025/7/24 0:36:31