郑志霞所著的《硅微机械传感器》分为两部分:第一部分根据微机械加工的工艺流程,逐步展开介绍微机械传感器的工艺技术和一些特殊工艺。第二部分介绍硅微机械传感器的最新研究成果,主要包括微压力传感器、微加速度传感器、微机械陀螺、微热流量传感器等。
郑志霞所著的《硅微机械传感器》围绕硅微机械传感器的基本原理、工艺技术、应用领域及接口电路等几个方面展开介绍和讨论。主要内容有:微机械系统的发展历史、现状、应用领域及前景;硅的物理、化学、机械特性;微机械传感器的主要工艺技术和特殊T艺的研究;常见微机械传感器结构;硅微机械压力传感器、加速度传感器、角速度传感器、热流体传感器的基本原理、结构设计、工艺过程及应用等;常见传感器的接口电路;微机械传感器的封装技术及几种常见微传感器的封装。
《硅微机械传感器》可供从事微机械传感器、光电子技术、通信技术、精密仪器与检测技术等的教学、科研、工程技术人员以及高等院校的师生参考。