本书是作者多年来从事MEMS强链研究的总结。
该书的特点是:全面系统地论述了与MEMS强链设计、制造、控制、应用等相关的技术问题,分析深入,关键技术经过实践验证,为保证MEMS强链的可靠性和高安全性而提出的技术措施准确,具有总结性和前瞻性。该书内容虽然针对MEMS强链技术,但对于研发其他MEMS器件或系统,也具有一定的参考价值。
该书可供从事MEMS研究及其应用的科技人员和高等学校相关专业教师阅读参考,也可作为电气工程、机械设计、自动控制等专业的本科高年级学生和研究生的科研参考资料。
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