MEMS是一项极具发展前景的军民两用高技术，具有巨大的市场和学科带动性，它的出现引发了一场新的技术革命。Coventor Ware是业界公认的具备System—Level和Co—Design功能的专业化MEMS设计软件。全书共分8章，全面系统地介绍了Coventor Ware软件的使用方法、应用技巧、仿真应用，以及在工程中使用Cov—entor Ware软件来进行预处理分析、微机电分析、力学分析和机电耦合求解器仿真的方法和技巧，并以微陀螺实例介绍了建模和系统级仿真的详细步骤和过程。内容详细具体，工程应用技巧性强。

本书适合机械电子专业教师、研究生、高年级本科生以及工程技术人员和科研人员学习参考。

全书共分7章，第1章主要是简单介绍新版的内容及安装指导，让读者领略(Coventor ware系统的新特性；第2章概括介绍了Coventor Ware系统的应用，让使用者对系统有一个全面的了解。第3章介绍了ARCHlTECT的系统层仿真功能，包括对Saber使用的介绍；第4章主要介绍了DESIGNER中的分析预处理功能。第5章和第6章分别介绍了ANALYZER中的微机电分析和力学分析功能。第7章介绍了机电耦合求解器的功能。附录以微陀螺为例讲述了对其建模和系统级仿真的详细步骤和过程。

第1章 概述

1．1 新版本内容说明

1．2 文件协议

1．3 在操作系统下的安装说明

第2章 Coventor Ware系统的应用

2．1 概述

2．1．1 主要模块

2．1．2 系统中的循环问题

 2．2 设计方面所要考虑的问题

 2．3 提高工作效率(Enhancing Productivil：y)

2．3．1 对执行的监控与管理

2．3．2 处理中应当注意的问题

 2．4 系统设计协议

 2．5功能管理器

2．5．1 材料

2．5．2 加工工艺

2．5．3 Architect

2．5．4 设计器(Designer)

2．5．5 分析器(Analyzer)

2．5．6 菜单的各项功能

 2．6 窗口浏览

2．6．1 工程浏览器

2．6．2 模型／网格浏览器

2．6．3 存储求解结果

2．6．4 输出结果

2．6．5 消除记录目录

 2．7 网格转换

2．7．1 网格转换文件说明窗口

2．7．2 网格转换边界条件设置窗口

 2．8 MBIFs文件的合成

 2．9 输出网格转换后的模型

 2．10 通用的按钮功能

 2．11 文件和数据库的转换

 2．12 文件的组织

2．12．1 系统资源文件

2．12．2 输入文件

2．12．3 输出文件

2．12．4 执行文件

2．12．5 学习文件

2．12．6 十文件命名的限制

2．12．7 目录结构

2．12．8 建立一个典型工程 

第3章 Architect介绍

3．1 Architect综述

3．2 MEMS仿真的系统级设计

3．2．1 系统级仿真的工具

3．2．2 系统级库

3．3 使用Saber 

3．3．1 Saber简介

3．3．2 使用Saber

3．3．3 仿真

3．3．4 Saber参考

第4章 分析预处理

4．1 概述

4．1．1 功能

4．1．2 窗口描述

4．1．3 预处理术语

4．1．4 预处理流程

4．2 实体建模

4．3 实体命名

4．4 网格建立

4．5 网格设置

4．5．1 一般网格的介绍

4．5．2 Extruded Rrirks 

4．5．3 Manhattan网格划分

4．5．4 TetrahedrOll网格划分

4．5．5 网格优化

4．5．6 曲率离散化误差

4．5．7 网格的删除或停止

4．5．8 面向分析的网格划分

4．6 模型导人导出

4．7 图标

4．8 菜单选项

4．8．1 文件(File)

4．8．2 编辑(Edit)

4．8．3 视图(View)

4．8．4 实体模型(Solid Model)

4．8．5 网格(Mesh)

4．8．6 工具(Tools)

4．8．7 帮助(Help)

第5章 微机电设计

5．1 分析窗口的使用

5．2 MemElectro电容矩阵

5．3 准静电分析功能

5．3．1 准静电和静电

5．3．2 准静电的原理和证明

5．3．3 平行板示例

5．3．4 准静电结果

5．4 静电分析的参考内容

5．4．1 功能

5．4．2 分析的设置窗口

5．4．3 分析的边界设置窗口

5．4．4 MemEleetro的参数研究

5．4．5 分析的结果窗口

第6章 微结构分析

6．1 MemMectl的使用

6．2 MemMectl和有限元法

6．3 网格单元的选择

6．4 动力学

6．4．1 固有频率和模态形式

6．4．2 阻尼

6．4．3 单元选择

6．4．4 动力学的网格设计

 6．5 力学机械分析参考

6．5．1 功能

6．5．2 力学机械分析设置窗口

6．5．3 分析边界条件窗口

6．5．4 MemMech参数化研究

6．5．5 微结构分析结果窗口

第7章 CoSolveEM——机电耦合求解器

7．1 CoSolve的使用

7．2 CoSolve迭代求解

7．3 在CoSolve中设定轨迹

7．3．1 CoSolve的临界分析指示器

7．3．2 不稳定的CoSolve结果

7．4 CoSolve参考

7．4．1 CoSolve功能介绍

7．4．2 CoSolve设置窗口

7．4．3 CoSolve边界条件窗口

7．4．4 状况监控器

7．4．5 CoSolve分析结果窗口

附录 陀螺仪的设计与仿真示例

1．Ovetview

2．Data Required for this Tutorial

3．Tutorial Obiectiyes and Layout

4．Gvroscope Operation

5．Gyroscope Design Parameters 

6．Designing the Gyroscope-Schematic Creation 

6．1 Schematic Creation GLlidelines

6．2 Initialization 

6．3 Place and Coniaect Parametric Component Symbols

6．4 Assign Properties to Placed Symbols

6．5 Add Additional Components

6．6 Set Design Variables

6．7 Final Schematic

7．Layout Verification

8．Architect Gyroscope Performance Analysis

8．1 DC Operating Point Analysis

8．2 DC Transfer(Sweep)Analysis

8．3 Small Signal AC Analysis

8．4 Sensitivity and Monte Carlo Analysis

8．5 Transient Analysis

8．6 AC Analysis：Determining the Detection Amplitude

8．7 Impact of Plate Curvature

9．FEM Comparison

9．1 Naming of Faces．Conductors and Parts

9．2 Meshing

9．3 Modal Analysis

9．4 Pull—in Analysis