本书主要介绍各类传感器的机理及应用实例。全书共11章，首先简述传感器的基本概念、特性、技术指标及改善途径、发展历程、微纳传感器及其加工技术等内容；然后阐述电阻式、电感式、电容式、磁电式、压电式、光电式、热电式、声波和智能传感器的工作原理、结构、特性、电路设计及应用等内容；最后介绍传感器的发展趋势。
本书可作为高等学校电子科学与技术、测控技术与仪器、自动化、电子信息工程、机械设计制造及其自动化等专业的教材，也可作为其他相近专业高年级本科生和硕士研究生的学习参考书。

第l章 传感器概述
1.1 传感器的基本概念
1.1.1 传感器的定义
1.1.2 传感器的组成
1.1.3 传感器的分类
1.1.4 传感器的发展历程
1.2 传感器的特性
1.2.1 传感器的静态特性
1.2.2 传感器的动态特性
1.3 传感器的技术指标及改善途径
1.3.1 传感器的技术指标
1.3.2 改善传感器性能的途径
1.4 微纳传感器及其加工技术
1.4.1 微纳传感器
1.4.2 微纳加工技术
本章小结
思考题和习题
第2章 电阻式传感器
2.1 概述
2.2 金属应变式传感器
2.2.1 金属应变式传感器的工作原理
2.2.2 金属应变片的结构与特性
2.2.3 金属应变片的电路设计
2.2.4 金属应变片的温度误差及补偿
2.2.5 金属应变式传感器的应用
2.3 半导体固态压阻式传感器
2.3.1 半导体固态压阻式传感器的.工作原理
2.3.2 半导体固态压阻式传感器的结构与特性
2.3.3 半导体固态压阻式传感器的电路设计
2.3.4 半导体固态压阻式传感器的温度误差及补偿
2.3.5 半导体固态压阻式传感器的应用
2.4 微纳电阻式传感器
2.4.1 微纳电阻式传感器的基本结构与工艺
2.4.2 微纳电阻式传感器的应用
本章小结
思考题和习题
第3章 电感式传感器
3.1 概述
3.2 自感式传感器
3.2.1 自感式传感器的工作原理
3.2.2 自感式传感器的分类与特性
3.2.3 自感式传感器的电路设计
3.2.4 自感式传感器的误差因素
3.2.5 自感式传感器的应用
3.3 差动变压器式传感器
3.3.1 差动变压器式传感器的工作原理
3.3.2 差动变压器式传感器的电路设计
3.3.3 差动变压器式传感器的应用
3.4 电涡流式传感器
3.4.1 电涡流式传感器的工作原理
3.4.2 电涡流式传感器的结构与特性
3.4.3 电涡流式传感器的电路设计
3.4.4 电涡流式传感器的误差因素
3.4.5 电涡流式传感器的应用
3.5 微纳电感式传感器
本章小结
思考题和习题
第4章 电容式传感器
4.1 概述
4.2 变极距型电容式传感器
4.2.1 变极距型电容式传感器的结构与原理
4.2.2 变极距型电容式传感器的应用
4.3 变面积型电容式传感器
4.3.1 变面积型电容式传感器的结构与原理
4.3.2 变面积型电容式传感器的应用
4.4 变介质型电容式传感器
4.4.1 变介质型电容式传感器的结构与原理
4.4.2 变介质型电容式传感器的应用
4.5 电容式传感器的特性及电路设计
4.5.1 电容式传感器的特性
4.5.2 电容式传感器的电路设计
4.6 微纳电容式传感器
4.6.1 微纳电容式传感器的结构与工艺
4.6.2 微纳电容式传感器电路
4.6.3 微纳电容式传感器的应用
本章小结
思考题和习题
第5章 磁电式传感器
5.1 概述
5.2 磁电感应式传感器
5.2.1 磁电感应式传感器的工作原理
5.2.2 磁电感应式传感器的类型
5.2.3 磁电感应式传感器的特性
5.2.4 磁电感应式传感器的应用
5.3 霍尔式传感器
5.3.1 霍尔式传感器的工作原理
5.3.2 霍尔式传感器的特性
5.3.3 霍尔式传感器的电路设计
5.3.4 霍尔式传感器的应用
5.4 磁敏基本元件
5.4.1 磁敏二极管
5.4.2 磁敏三极管
5.4.3 磁敏器件的应用
5.5 微纳磁阻传感器
5.5.1 微纳磁阻传感器的原理
5.5.2 微纳磁阻传感器的类型
5.5.3 微纳磁阻传感器的应用
本章小结
思考题和习题
第6章 压电式传感器
6.1 概述
6.2 压电式传感器
6.2.1 压电式传感器的工作原理
6.2.2 压电式传感器的结构
6.2.3 压电式传感器的电路设计
6.2.4 压电式传感器的误差因素
6.2.5 压电式传感器的应用
6.3 微纳压电式传感器
本章小结
思考题和习题
第7章 光电式传感器
7.1 概述
7.2 光电传感器
7.2.1 光电传感器的工作原理
7.2.2 光电传感器的光电元件
7.2.3 光电传感器的应用
7.3 光栅传感器
7.3.1 光栅的工作原理
7.3.2 光栅信号的辨向与细分
7.3.3 光栅传感器的应用
7.4 光纤传感器
7.4.1 光纤传感器的工作原理
7.4.2 光纤传感器的类型
7.4.3 光纤传感器的应用
7.5 光固态图像传感器
7.5.1 CCD的工作原理
7.5.2 CCD图像传感器的分类
7.5.3 CCD图像传感器的应用
7.6 微纳光电式传感器
本章小结
思考题和习题
第8章 热电式传感器
8.1 概述
8.2 热电偶式温度传感器
8.2.1 热电偶的工作原理
8.2.2 热电偶的基本定律
8.2.3 热电偶的电路设计
8.2.4 热电偶的结构及常用热电偶
8.2.5 热电偶的冷端误差及其补偿
8.2.6 热电偶式温度传感器的