本书主要介绍集成电路制造的各种设备，以青少年熟悉的“武林高手”的形式介绍主要集成电路制造设备，如被称为集成电路制造的“四大金刚”离子注入机、光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备。从这些设备在集成电路制造中的各自作用入手，图文并茂地围绕“精”这个字，体现集成电路制造设备的技术先进性、复杂度和极具挑战性的特点，一方面以青少年喜闻乐见的方式普及核心设备的基础知识，另一方面引发他们未来从事集成电路制造设备研发的兴趣。

第一章 “精密”之旅——走近集成电路制造设备
“摩尔定律”的魔法术
空气洁净度
精密的尺度
“纳米城市”的质量标准
第二章 “精”彩纷呈——揭开集成电路制造设备的神秘面纱
走进洁净室
洁净室的特别之处
集成电路制造设备的“十八般武艺”
第三章 精准的“注射”高手——离子注入机
芯片为什么需要“杂质”
“注射”是一门大学问
“蓄势待发”的离子源
“万箭齐发”的束线
“工艺腔”里的故事
第四章 精湛的“摄影”大师——光刻机
走近光刻机
如何评判光刻机的“武功”
光刻机的“光”是怎么来的
光刻机“照相”的过程
光刻机内部的“跑步冠军”
光刻机里的“大哥大”——极紫外光刻机
第五章 精密的“雕刻”行家——刻蚀机
“雕刻”行家也用“刀”吗
神秘的“雕刻魔法”之湿法刻蚀
神秘的“雕刻魔法”之干法刻蚀
“雕刻”行家特殊的工作环境
如何评估“雕刻”的水平
第六章 精确的“制衣”能手——薄膜沉积设备
芯片喜欢穿什么样的“衣服”
“制衣”能手的绝活儿
物理“制衣”法——物理气相沉积设备
化学“制衣”法——化学气相沉积设备
原子“制衣”法——原子层沉积设备
第七章 日益“精”进——集成电路制造设备的竞争格局
“英雄辈出”——集成电路制造设备主要厂商
“群雄逐鹿”——集成电路制造设备的市场格局
“奋起直追”——中国集成电路制造设备的发展之路
参考文献
后记

当今世界，芯片驱动
世界，推动社会生产，影
响人类生活！集成电路，
被称为电子产品的“心脏”
，是信息技术产业的核心
。集成电路产业技术高度
密集，是人类社会进入信
息时代、智能时代的重要
核心产业，是一个支撑经
济社会发展，关系国家安
全的战略性、基础性和先
导性产业。在我们面临“
百年未有之大变局”的形
势下，集成电路更具有格
外重要的意义。
当前，人工智能、集
成电路、先进制造、量子
信息、生命健康、脑科学
、生物育种、空天科技、
深地深海等前沿领域都是
我们发展的重要方面。在
这些领域要加强原创性、
引领性科技攻关，不仅要
在技术水平上不断提升，
而且要推动创新链、产业
链融合布局，培育壮大骨
干企业，努力实现产业规
模倍增，着力打造具有国
际竞争力的产业创新发展
高地。新形势下，对于从
事这一领域的专业人员来
说既是一种鼓励，更是一
种鞭策，如何更好地服务
国家战略科技，需要我们
认真思索和大胆实践。
集成电路产业链长、
流程复杂，包括原材料、
设备、设计、制造和封装
测试等五大部分，每一部
分又包括诸多细分领域，
涉及的知识面极为广泛，
对人才的要求也非常高。
高校是人才培养的重要基
地，也是科技创新的重要
策源地，应该在推动我国
集成电路技术和产业发展
过程中发挥重要作用。复
旦大学是我国最早从事研
究和发展微电子技术的单
位之一。20世纪50年代
，我国著名教育家、物理
学家谢希德教授在复旦创
建半导体物理专业：奠定
了复旦大学微电子学科的
办学根基。复旦大学微电
子学院成立于2013年4月
，是国家首批示范性微电
子学院。
“‘芯’路丛书”由复旦大
学组织其微电子学院院长
、教授张卫等从事一线教
学科研的教授和专家组成
编撰团队精心编写，与上
海科学普及出版社联手打
造，丛书的出版还得到了
上海国盛（集团）有限公
司的大力支持。丛书旨在
进一步培育热爱集成电路
事业的科技人才，解决制
约我国集成电路产业发展
的“卡脖子”问题，积极助
推我国集成电路产业发展
，在科学传播方面作出贡
献。
该丛书读者定位为青
少年，丛书从科普的角度
全方位介绍集成电路技术
和产业发展的历程，系统
全面地向青少年读者推广
与普及集成电路知识，让
青少年读者从感兴趣入手
，逐步激发他们对集成电
路的感性认识，在他们的
心中播撒爱“芯”的“种子”
，进而学习、掌握“芯”知
识，将来投身到这一领域
，为我国集成电路技术提
升和产业创新发展作出贡
献。
本套丛书普及集成电
路知识，传播科学方法，
弘扬科学精神，是一套有
价值、有深度、有趣味的
优秀科普读物，对于青年
学生和所有关心微电子技
术发展的公众都有帮助。
中国科学院院士
2022年1月