《真空工程设计》是21世纪以来国内真空领域一部大型工具书，内容丰富，资料新颖，文字精练，工程数据丰富，信息量大。本书全面系统地反映出现代真空工程设计的新理念、新思路、新方法，具有很强的理论价值和适用性。
本书共29章，涵盖了真空工程设计的各个领域。包括真空概论；真空技术的物理基础；真空获得技术与设备；真空工程中制冷低温技术应用基础；真空度测量仪器；低温测试技术；真空与低温技术中的热计算基础；真空管路的流导计算；真空系统的设计；真空与低温容器设计；真空容器的分析设计；真空与低温阀门及法兰；真空运动传动机构；真空工程元件；真空工程材料；容器检漏；真空低温工程中的焊接技术；真空清洁处理；航天器空间环境与设备；航天器空间热环境试验设备设计；真空热处理设备设计；真空薄膜沉积；离子注入改性；真空保鲜食品及真空包装机；各类真空应用装置以及真空工程基础数据。
本书可供各科学技术领域从事真空工程设计、研究、应用的科技人员使用，亦可供高等院校相关专业师生参考。

上册
第1章 真空概述
1.1 真空
1.2 真空计量单位
1.3 真空区域划分
1.4 真空环境特点及其应用
1.4.1 真空环境产生压力差
1.4.2 真空环境中氧和水含量显著减小
1.4.3 真空环境下气体分子运动的平均自由程增大
1.4.4 真空环境使气体分子在固体表面形成单分子层时间增长
1.4.5 真空环境减小能量传递
1.4.6 真空环境降低物质沸点而蒸发速率加快
1.4.7 真空环境中材料迅速脱气
1.5 真空系统图形符号
1.5.1 真空泵
1.5.2 压力测量仪表
1.5.3 挡板与冷阱
1.5.4 真空阀门
1.5.5 真空容器、除尘器、过滤器
1.5.6 真空管路及其连结
1.5.7 真空系统图例
1.6 真空系统设计常用术语
1.6.1 一般术语
1.6.2 真空泵
1.6.3 真空泵特性
1.6.4 真空计
1.6.5 真空元件
1.6.6 真空密封和真空引入线
1.6.7 真空检漏
1.6.8 真空系统及特性
第2章 真空物理基础刘玉魁
2.1 气体基本性质
2.1.1 气体与蒸气
2.1.2 玻义耳-马略特定律
2.1.3 查理定律
2.1.4 盖吕萨克定律
2.1.5 道尔顿分压力定律
2.1.6 阿伏伽德罗定律
2.1.7 理想气体的状态方程
2.2 气体分子运动理论
2.2.1 分子运动论的要点
2.2.2 气体的压力及分子动能
2.2.3 气体分子速度
2.2.4 气体的入射率
2.2.5 气体平均自由程
2.3 气体中的迁移现象
2.4 气体的扩散
2.4.1 气体的自扩散
2.4.2 气体的互扩散
2.4.3 气体的热扩散
2.5 气体的黏滞性
2.5.1 压力较高时黏滞流气体的黏滞系数
2.5.2 压力较低时分子流气体的黏滞系数
2.6 气体中的热量传递
2.6.1 压力较高时黏滞流气体的热量传递
2.6.2 压力较低时分子流气体的热传导
2.6.3 辐射传热
2.7 热流逸
2.8 蒸发与凝结
2.8.1 蒸发率及凝结率
2.8.2 蒸气压
2.9 气体在固体中的溶解
2.10 气体在固体中的扩散
2.11 气体在固体中的渗透
2.11.1 渗透系数及渗透气体量
2.11.2 各种材料的渗透性
2.12 气体与固体的吸附
2.12.1 物理吸附及化学吸附
2.12.2 吸附力及吸附能
2.12.3 吸附速率
2.12.4 分子沿表面迁移
2.12.5 吸附方程
2.13 气体从固体表面的解吸
2.13.1 解吸过程
2.13.2 解吸速率
2.13.3 材料出气
2.14 气体中的放电现象
2.14.1 气体放电特性
2.14.2 辉光放电
2.14.3 弧光放电
2.14.4 高频放电
2.14.5 电晕放电
2.14.6 潘宁放电
2.15 带电粒子在电磁场中的运动
2.15.1 金属的电子发射
2.15.2 气体电离基本原理
2.15.3 电子在平行电场中的运动
2.15.4 电子在径向电场中的运动
2.15.5 带电粒子在磁场中的运动
2.15.6 带电粒子在正交均匀电磁场中的运动
第3章 真空获得技术与设备闫格
3.1 概述
3.1.1 真空泵基本参数
3.1.2 真空泵型号编制方法
3.1.3 真空泵的分类
3.1.4 各类真空泵工作压力范围
3.2 机械真空泵
3.2.1 往复式真空泵
3.2.2 水环真空泵
3.2.3 旋片真空泵
3.2.4 滑阀真空泵
3.2.5 罗茨真空泵
3.2.6 干式真空泵
3.2.7 分子泵
3.2.8 隔膜真空泵
3.3 蒸汽流真空泵
3.3.1 水蒸气喷射泵
3.3.2 油扩散泵
3.3.3 油扩散喷射泵
3.4 气体捕集真空泵
3.4.1 溅射离子泵
3.4.2 低温泵
3.4.3 非蒸散型吸气泵
3.5 国产真空泵
3.5.1 SKY干式真空泵组及溅射离子泵
3.5.2 KYKY分子泵
3.5.3 环球真空的真空泵产品
3.5.4 浙真集团真空泵
3.5.5 博开科技DZB系列低温泵
3.5.6 纪维无油涡旋真空泵
3.5.7 华特HTFB复合分子泵
3.5.8 上海真空泵厂真空泵
3.5.9 南光机器F型分子泵及2XZ型及2X型旋片式真空泵
3.5.10 国产Z型系列油扩散喷射真空泵
3.5.11 国产K型系列油扩散真空泵
3.5.12 淄博真空设备厂真空泵
3.5.13 海乐威真空泵产品
第4章 真空工程中制冷与低温技术基础杨建斌
4.1 概述
4.2 低温制冷技术基础概念
4.3 获得低温的方法
4.3.1 相变制冷
4.3.2 气体绝热膨胀制冷
4.3.3 半导体制冷
4.4 制冷低温工质及载冷剂
4.4.1 制冷工质
4.4.2 载冷剂
4.4.3 低温工质
4.4.4 低温工质物性数据
4.5 蒸气压缩循环制冷
4.5.1 单级蒸气压缩循环制冷
4.5.2 复叠式蒸气压缩制冷循环
4.5.3 内复叠式蒸气压缩制冷循环
4.6 气体液化制冷技术
4.6.1 气体液化循环
4.6.2 低温液体在冷却中的应用
4.7