本书总结了研究微观形貌、元素、结构与缺陷、原子识别等的主要现代方法，包括：高分辨电镜、分析型电镜、场离子显微镜和三维原子探针、俄歇谱仪和X射线光电子谱仪、扫描隧道显微镜和原子力显微镜，各章节的内容按照原理-结构-应用3个层面叙述。
本书适合普通高校材料学研究生作为方法课的参考教材，也可供从事材料教学、研究、开发和生产的人员参考。

1 材料电子显微分析的基础方法
1.1 高能电子束与固态物质的相互作用
1.2 透射电子显微镜
1.2.1 一般结构与成像原理
1.2.2 电子衍射
1.2.3 衍衬像分析
1.3 扫描电子显微镜
1.3.1 SEM的一般结构与工作原理
1.3.2 SEM的主要性能
1.3.3 SEM的主要应用
1.4 X射线能谱仪
1.4.1 一般结构和工作原理
1.4.2 EDS工作模式及应用
1.5 背散射电子衍射
1.5.1 一般结构和工作原理
1.5.2 EBSD分析的应用
思考题
2 高分辨电子显微镜
2.1 概述
2.2 电子显微镜相位衬度
2.2.1 衬度传递函数
2.2.2 高分辨像的特征
2.2.3 高分辨像的计算机模拟
2.3 透射电子显微镜分辨本领
2.4 高分辨像观察
2.4.1 高分辨像类型
2.4.2 晶体缺陷的典型高分辨像
2.4.3 特殊像
2.5 高分辨像观察与分析的一般方法
2.5.1 试样与设备
2.5.2 观察与拍照
2.5.3 图像解释与标定
思考题
3 分析型电子显微镜
3.1 分析型电子显微镜的工作原理与结构
3.2 STEM的电子衍射
3.2.1 纳米束衍射
3.2.2 会聚束衍射
3.3 STEM散射电子的高角环形暗场像
3.3.1 Z衬度像
3.3.2 HAADF像特征与应用
3.4 STEM-EELS分析
3.4.1 电子能量损失谱
3.4.2 电子能量损失谱仪
3.4.3 EELS分析
3.4.4 STEM-EELS应用
3.5 能量过滤像
3.5.1 能量过滤器
3.5.2 能量过滤的应用
思考题
4 场离子显微镜和三维原子探针
4.1 场离子显微镜
4.1.1 成像原理与一般结构
4.1.2 FIM像特征
4.1.3 FIM应用
4.2 三维原子探针
4.2.1 原子探针工作原理
4.2.2 仪器结构与性能
4.2.3 FIM-3DAP应用
思考题
5 俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪
5.1 俄歇电子能谱仪
5.1.1 基本原理
5.1.2 谱仪基本装置和分析方法
5.1.3 俄歇谱仪的应用
5.2 X射线光电子能谱仪
5.2.1 基本原理
5.2.2 谱仪基本装置与分析方法
5.2.3 XPS谱
5.2.4 XPS应用
思考题
6 扫描隧道显微镜和原子力显微镜
6.1 扫描隧道显微镜
6.1.1 STM工作原理
6.1.2 STM仪器结构
6.1.3 STM应用
6.2 原子力显微镜
6.2.1 原子力显微镜工作原理
6.2.2 AFM工作模式
6.2.3 原子力显微镜的应用
思考题
参考文献