本书主要介绍了Tanner Tools集成电路设计工具的使用方法，包括S-Edit、T-Spice、L-Edit、Tanner Designer、MEMS Pro五章。书中结合具体案例，对功能定义、电路设计、版图设计、物理验证、仿真验证等环节进行了详细阐述，并提供详细的操作步骤。特别是针对在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的，关系到国家科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术MEMS器件的设计，进行了系统的介绍，为读者提供了高效、完整的学习教程。
本书可以作为高等院校微电子专业、半导体专业、电路设计专业的教材，同时还可以作为从事集成电路研究、设计、开发、生产和应用工作的科技人员以及从事微电子、微光学、微机械等微系统版图设计与其他微细加工技术领域工作的科技人员的参考书。

第一章 S-Edit
1.1 导论
1.1.1 符号说明
1.1.2 安装
1.1.3 用户手册
1.2 启动S-Edit
1.2.1 加载设计
1.2.2 设计可视化
1.3 多视图的设计
1.3.1 视图类型
1.3.2 确定当前显示视图类型
1.3.3 符号视图元素
1.3.4 原理图元素
1.3.5 Verilog-AMS视图基础
1.3.6 文本视图的一般信息
1.3.7 SPICE视图基础
l.3.8 Verilog-AMS视图基础
1.3.9 视图类型和网表
1.3.10 将视图类型赋给网表
1.4 评估属性
1.4.1 属性表达式
1.4.2 显示端口属性
1.5 创建设计
1.5.1 保存设计
1.5.2 创建设计
1.5.3 创建原理图
1.5.4 创建符号
1.5.5 创建总线和阵列
1.6 检查设计
1.6.1 运行检查设计
1.6.2 突出显示走线
1.7 回调
1.8 自定义S.Edit设置
本章练习题
第二章 T.Spice
2.1 电路仿真
2.1.1 Waveform Viewer
2.1.2 波形计算器
2.1.3 抓取电压、电流及电荷
2.1.4 工艺角仿真
2.1.5 仿真检查点和重新启用
2.2 在原理图上查看电压、电流和电荷
2.3 混合信号仿真
2.3.1 概述
2.3.2 设计实例
2.3.3 混合信号仿真装置
2.3.4 运行混合信号仿真
本章练习题
第三章 L-Edit
3.1 使用L—Edit
3.1.1 特点及内容介绍
3.1.2 打开设计文件
3.1.3 L—Edit用户界面介绍
3.1.4 缩放和平移操作
3.1.5 浏览设计文件
3.1.6 选择操作
3.1.7 绘图和编辑操作
3.1.8 临时标尺
3.1.9 查看版图
3.1.10 例化单元
3.1.11 T-Cells
3.2 L.Edit原理图驱动的版图设计入门
3.2.1 功能及内容介绍
3.2.2 打开设计文件
3.2.3 设置SDL的单元模块
3.2.4 利用SDL导入网表
3.2.5 利用飞线放置器件
3.2.6 在手动放置的线上标记几何图形
3.2.7 设置自动布线
……
第四章 Tanner Designer
第五章 MEMS Pro