本书从应用角度出发，介绍了扫描电子显微镜（简称扫描电镜）和X射线能谱仪（简称能谱仪）的基本原理及其在实际工作中的一些具体应用。全书包括上、下两篇和一些相关的附录。
上篇包括第1～9章，主要论述了扫描电镜的原理、结构、操作要点和应用中几种常见的图像质量问题，以及改善图像质量的应对方法和措施，列举了多种电子元器件在电应力和环境应力作用下的一些失效案例，介绍了扫描电镜常用的几种维护保养方式、方法。除此之外，还提出了选择安装场地的几点注意事项，供新用户在规划和选择安装场地时参考。
下篇包括第10～18章，主要介绍了能谱仪的原理、数据采集和处理及具体的应用技术，包括Si（Li）与SDD新旧两种能谱仪探测器芯片的结构和基本原理，以及能谱仪在定性、定量分析中常遇到的棘手问题及相应的处理方法，还简略地介绍了罗兰圆波谱仪和平行光波谱仪的原理及各自的特点。
附录收录了真空压力单位换算表，以及能谱分析中可能会出现且易被误判假峰的参考表，还加入了部分与扫描电镜和能谱分析有关的标准号。
本书具有较强的实用性，可作为专业的扫描电镜应用和操作人员的培训用书，也适用于从事扫描电镜维护、保养的工程技术人员和科研院所及工矿企业的质量检测人员参考，亦可供理工科院校相关专业的本科生和硕士生阅读、参考。

上篇 扫描电镜的原理与实用分析技术
第1章 光学显微镜和电子显微镜的发展回顾及其成像方式的比较
1.1 光学显微镜的发展简史及其几个主要基本概念
1.1.1 光学显微镜的发展简史
1.1.2 光学透镜的特性
1.1.3 可见光的衍射
1.2 电子显微镜综述
1.3 国外研制和发展电子显微镜的相关进程和成就
1.4 我国研制、生产电镜历程及发展概况
1.5 几种常见的扫描电镜和小型台式透射和扫描电镜
1.5.1 几种常见的扫描电镜
1.5.2 几种常见的小型台式透射和扫描电镜
1.6 电子的基本参数及其与物质的相互作用
1.6.1 电子的基本参数
1.6.2 电子束的波长
1.6.3 入射电子和试样的相互作用及其产生的信号电子
参考文献
第2章 扫描电镜的原理和结构
2.1 扫描电镜的原理
2.1.1 镜筒概述
2.1.2 供电系统
2.2 电子枪的束斑和束流
2.3 扫描电镜的放大倍率
2.4 扫描电镜的电子束斑
2.5 镜筒
2.6 电子枪阴极
2.6.1 钨阴极
2.6.2 氧化钇铱阴极
2.6.3 六硼化镧阴极
2.6.4 场发射阴极电子枪
2.7 电磁透镜
2.8 扫描偏转线圈
2.9 样品仓的外形与内部
2.10 真空压力单位
2.11 低真空和环境扫描电镜
参考文献
第3章 扫描电镜的主要探测器及其成像
3.1 二次电子和背散射电子信号的收集与显示
3.2 二次电子探测器
3.3 二次电子像的性质
3.4 传统的E-T型二次电子探测器
3.5 光电倍增管
3.5.1 光电倍增管的结构
3.5.2 光电倍增管的特性
3.5.3 光电倍增管的稳定性
3.5.4 光电倍增管的典型供电电路
3.5.5 光电倍增管的疲劳与衰老
3.6 YAG材料的二次电子探测器及背散射电子探测器
3.7 透镜内二次电子探测器
3.8 环境扫描和低真空电镜的二次电子探测器
3.8.1 气体二次电子探测器
3.8.2 大视场低真空探测器
3.8.3 改进型的低真空E-T二次电子探测器
3.9 与图像分辨力有关的几个主要因素
3.10 入射的电子束流与束斑直径
……
下篇 能谱仪的原理与实用分析技术
附录A
致谢