袁哲俊，1926年生，江苏宝山（今属上海市）人。哈尔滨工业大学教授，机械制造学科首批博士生导师，哈尔滨工业大学机械制造学科的创始人之一，国务院学位委员会第二届学科评议组成员。曾被评选为哈尔滨市届人民代表大会代表；全国优选工作者，并出席全国优选工作者代表大会；航天部有突出贡献专家。1948年毕业于交通大学机械系，1952年毕业于哈尔滨工业大学研究生班。曾任机械工业部工具研究所副所长，全国机械制造专业教学指导委员会副主任兼切削组组长，全国高校切削与优选制造技术研究会理事长等。我国有名的刀具专家，长期致力于金属切削、刀具、精密加工方面的教学和研究工作，在刀具和超精密加工领域具有很深厚的学术造诣。从教50多年来，承担并完成了大量的教学和科研工作，取得了丰硕的成果：正式出版教材、学术著作、手册等15部；发表学术论文600余篇；完成多项科研课题，其中获国家科技进步奖三等奖1项，省部级科技进步奖一等奖2项，省部级科技进步奖二等奖4项，省部级三等奖和其他科技奖项12项；培养博士生56人，硕士生50人，博士后5人。
杨立军，1972年生，辽宁建平人。哈尔滨工业大学机电工程学院教授，博士生导师。中国宇航学会光电技术委员会委员、中国微米纳米技术学会不错会员、中国微米纳米技术学会微纳机器人分会理事，国家重点研发计划项目负责人，教育部学位中心论文评阅人。主要从事微纳制造、激光制造、机械制造及光机电一体化装备的研究工作，先后主持承担国家重点研发计划、自然科学基金重点项目、863计划项目、国防基础科研项目、国家数控重大专项项目及一批省部级重点项目和靠前合作项目，获省部级二等奖4项，发表SCI、EI检索的学术论文60余篇，出版专著和教材5部，获授权发明12项。

章纳米科学技术概述1
1.1纳米科学技术的特点2
1.2纳米科学技术的发展2
1.3发展纳米科学技术的理论基础7
1.4发展纳米科技的重要性和各国纳米科技的发展情况12
复习思考题26
参考文献26
第2章探针式显微镜28
2.1探针式显微镜发明前微观表面形貌检测技术的发展29
2.2扫描隧道显微镜37
2.3原子力显微镜57
2.4其他扫描探针显微镜82
2.5光子扫描隧道显微镜和近场光学扫描显微镜84
复习思考题87
参考文献87
第3章纳米材料90
3.1纳米材料的发展与纳米材料定义91
3.2纳米颗粒(微粉)材料93
3.3纳米微粒材料(零维纳米材料)的制造技术106
3.4纳米薄膜材料118
3.5纳米块体材料123
3.6原子团簇131
3.7碳纳米管137
3.8纳米复合材料161
复习思考题167
参考文献167
第4章纳米级精密测量技术169
4.1纳米级的尺寸精度和位移的测量方法170
4.2纳米级精度的多维尺寸测量175
4.3纳米级表面形貌和粗糙度的测量177
4.4超精密测量的环境条件182
4.5提高三维测量系统测量精度需注意的问题186
复习思考题190
参考文献190
第5章纳米级超精密加工和原子操纵技术191
5.1纳米级加工的物理实质和特点192
5.2超精密机械加工技术194
5.3纳米切削的分子动力学模拟199
5.4三束加工技术203
5.5原子与近原子尺度制造212
5.6碳纳米管互连技术228
5.7原子操纵技术的发展和操纵机理的探析238
复习思考题240
参考文献241
第6章纳米级表层物理力学性能检测和纳米摩擦学244
6.1纳米级表层物理力学性能的显微力学探针检测法245
6.2材料极薄表层物理力学性能的实际检测251
6.3纳米摩擦学的提出259
6.4纳米摩擦学研究使用的实验测试仪器261
6.5纳米级摩擦副材料和摩擦表面形态267
6.6边界润滑与分子膜272
6.7薄膜润滑283
6.8平滑界面的微摩擦形态291
6.9纳米摩擦学的分子动力学模拟303
复习思考题305
参考文献305
第7章纳米电子学307
7.1概述308
7.2从微电子技术到纳米电子技术的发展309
7.3量子电子器件的主要特征316
7.4量子电系统的基础元件322
7.5纳米级单电子晶体管324
7.6分子电子学和分子电子器件330
7.7原子电子器件340
7.8纳米电子器件的集成和量子计算机344
7.9三代电子器件的比较和纳米电子集成电路的探索351
7.10二维半导体材料纳米器件354
复习思考题365
参考文献365
第8章微机械和微机电系统366
8.1微机械和微机电系统的提出367
8.2微机械和微机电系统的理论基础369
8.3微机械常用的材料377
8.4微机械和微机电系统的技术基础383
8.5微传感器393
8.6微致动器408
8.7微型机器人417
8.8微型惯性仪表424
8.9微飞行器438
8.10微型卫星454
复习思考题463
参考文献464
第9章微机械和微机电系统的制造466
9.1微机械与微机电系统的制造技术简介467
9.2集成电路的制造过程简介470
9.3微机械器件的薄膜制造技术474
9.4光刻工艺中的曝光技术478
9.5光刻工艺中的刻蚀技术和立体光刻技术490
9.6LIGA技术497
9.7牺牲层工艺技术508
9.8微器件基板的键合技术512
9.9精密微机械加工和特种加工等在微机电系统制造中的应用520
复习思考题534
参考文献535
附录537
附录1中国纳米科技至2050年的发展目标和可能取得的重要突破537
附录2中国至2050年纳米科技发展路线图542
名词索引

本书系统、全面地讲述了纳米科学与技术的各部分主要内容，收集了国内外有关纳米科技的大量文献资料，并结合了哈尔滨工业大学近年来所从事的纳米技术的研究成果和教学经验。本书不仅系统讲述了纳米科技的基础原理和技术，还介绍了国内外纳米科学与技术的最新发展和成就。