《传感器实用技术》系统地介绍了传感器及传感技术的基本概念、发展趋势、市场需求及产业概况，介绍了智能传感器、MEMS传感器、生物传感器、力敏传感器、温度传感器、磁敏传感器、光敏传感器、湿敏传感器、气敏传感器、离散传感器的基本概念、特性参数、制备工艺、选型原则及应用。对传感器的可靠性设计、可靠性试验、可靠性筛选给出了实际的例证和失效分析实例。《传感器实用技术》介绍了靠前外传感器及传感技术的新理论、新动向、新成果，内容涵盖了作者几十年来的科研、教学成果及实践经验，力求让读者对我国传感器及传感技术有一个深刻、全面、客观的认识，进而提高读者解决实际问题的能力。

第1章传感器与传感技术概述
1.1传感器与传感技术的基本概念及特点
1.2传感器的作用和战略地位
1.3传感器的分类
1.4传感器的特性
1.4.1传感器的静态特性
1.4.2传感器的动态特性
1.5传感器的命名、代号及图形符号
1.5.1传感器的命名
1.5.2传感器的代号
1.5.3传感器的图用图形符号
1.6传感器及传感技术发展趋势
1.6.1传感技术发展趋势
1.6.2传感器产业发展趋势
1.6.3敏感材料发展趋势
1.6.4传感器制备工艺发展趋势
1.7传感器发展战略研究
1.7.1传感器产品、工艺（装备）、材料发展重点
1.7.2打造传感器产业基地
1.7.3传感器发展路线
1.7.4传感器发展措施建议
1.8国内传感器发展概况
1.8.1传感器产业发展现状
1.8.2传感器市场国内需求分析
1.8.3传感器产业发展存在的主要问题
1.9国外传感器发展概况
1.9.1国外传感器发展经验借鉴
1.9.2国际传感器产业发展趋势
1.9.3国外传感器产业现状
1.9.4国外传感器市场需求状况
第2章智能传感器
2.1智能传感器的基本概念及分类
2.2智能传感器的构成、功能与特点
2.2.1智能传感器的构成
2.2.2智能传感器功能
2.2.3智能传感器的特点
2.3智能传感器的技术剖析
2.3.1智能传感器的基础理论——信息（数据）融合技术
2.3.2智能传感器的设计
2.3.3智能传感器实现的主要技术路径
2.3.4智能传感器标准体系
2.4智能传感器的实现途径
2.4.1非集成化实现
2.4.2集成化实现
2.4.3混合实现
2.5智能传感器的通信接口、协议
2.5.1智能传感器的通信接口
2.5.2智能传感器的协议、总线
2.6智能传感器的发展趋势
2.7智能传感器的应用
2.7.1智能传感器在汽车电子系统应用
2.7.2在环境监测方面的应用
2.7.3在航天航空、通信领域的应用
2.7.4在武器系统中的应用
第3章MEMS传感器及其应用
3.1MEMS传感器的基本概念
3.1.1MEMS传感器概述
3.1.2MEMS传感器的优点及典型特征
3.1.3MEMS传感器分类
3.1.4MEMS传感器的技术发展趋势
3.2MEMS传感器制作与材料
3.2.1MEMS传感器制作特点
3.2.2MEMS传感器典型材料
3.3MEMS传感器的典型制备工艺
3.3.1MEMS传感器膜制备工艺
3.3.2MEMS传感器的光刻技术
3.3.3MEMS传感器的干法腐蚀和湿法腐蚀工艺
3.3.4硅自停止腐蚀工艺
3.3.5MEMS体微加工的表面牺牲层工艺和LIGA工艺
3.3.6MEMS传感器的键合工艺
3.3.7MEMS传感器晶圆的切割与封装
3.4MEMS传感器测试
3.5MEMS传感器设计仿真简介
3.5.1仿真工具简介
3.5.2仿真设计实例——梳齿式加速度传感器的设计
3.6MEMS传感器应用
3.6.1MEMS传感器的典型应用
3.6.2MEMS传感器的其他应用
第4章生物芯片和生物传感器
4.1生物芯片及生物传感器的基本概念
4.2生物芯片及生物传感器的分类
4.2.1生物芯片的分类
4.2.2生物传感器的分类
4.3生物传感器的制备
4.4生物传感器的发展趋势
4.4.1生物芯片的发展趋势
4.4.2生物传感器发展趋势
4.5生物芯片、生物传感器国内外概况
4.5.1生物芯片、生物传感器国外概况
4.5.2我国生物芯片、生物传感器的现状
4.5.3我国生物传感器技术发展历程
4.6生物传感器的应用
4.6.1生物传感器在医学领域中的应用
4.6.2生物传感器在发酵工业中的应用
4.6.3生物传感器在环境检测方面的应用
第5章力敏元件及传感器
5.1力敏元件及传感器的分类
5.2力敏元件及传感器的特性参数
5.2.1应变式力敏元件及传感器
5.2.2压阻式力敏元件及传感器
5.2.3电容式力敏元件及传感器
5.2.4压电式力敏元件及传感器
5.2.5电感式力敏元件及传感器
5.2.6谐振式力敏元件及传感器
5.3力敏元件及传感器的制造技术
5.3.1主要工艺流程
5.3.2氧化工艺
5.3.3光刻
5.3.4扩散和注入
5.3.5退火和再扩
5.3.6淀积工艺
5.3.7电极制备工艺
5.3.8电极合金化
5.3.9表面钝化
5.3.10硅膜片的形成
5.3.11封接技术
5.3.12焊接和充灌技术
5.3.13典型的力敏传感器结构
5.3.14力敏传感器典型的工艺流程
5.3.15其他制备技术
5.4力敏传感器的温度补偿
5.4.1扩散硅压阻式压力传感器温度补偿的基本术语
5.4.2扩散硅压阻式传感器的热漂移与供电的关系
5.4.3扩散硅压阻式压力传感器的温度补偿原理（串并联电阻法）
5.4.4扩散硅压阻式压力传感器的温度补偿计算方法（串并联电阻法一）
5.4.5扩散硅压阻式压力传感器的温度补偿计算方法（串并联电阻法二）
5.4.6传感器的温度补偿方法（软件补偿）
5.4.7应变片传感器的温度补偿
5.5力敏元件及传感器的选用原则
5.5.1按性能指标要求选用
5.5.2按使用环境要求选用
5.5.3按测量对象要求选用
5.5.4选用举例
5.6力敏元件及传感器的发展及应用
5.6.1直流电桥测量电路
5.6.2频率测量电路
5.6.3电荷放大测量电路
5.6.4差动电容测量电路
第6章热敏元件、温度传感器及应用技术
6.1温度测量的基本概念
6.2热敏元件、温度传感器的基本原理及特性参数
6.2.1热电偶
6.2.2热电阻
6.2.3热敏电阻器
6.2.4热辐射温度传感器
6.2.5新型温度传感器
6.3热敏元件及传感器制备技术
6.3.1热敏电阻器的制备技术
6.3.2铂热电阻的制备技术
6.4热敏元件、温度传感器的应用技术
6.4.1测量电路
6.4.2温度控制
6.4.3温度仪表
6.5测温元件、测温传感器及测温仪表的选用
6.5.1测温元件选择
6.5.2测温传感器选择
6.5.3温度变送器的选用
6.5.4温度仪表的选用
……
第7章磁敏元件及传感器
第8章光敏元件及传感器
第9章湿敏元件及传感器的应用
第10章气敏元件及传感器的应用
第11章离散传感器及应用
第12章敏感元件及传感器可靠性技术
附录
参考文献