1光学干涉理论基础
1.1 光的衍射
1.1.1 标量衍射理论
1.1.2 矢量衍射理论
1.1.3 电磁场的数值计算方法
1.2 光的干涉
1.2.1 单色平面波确定光场
1.2.2 空间和时间展宽的随机光场
1.2.3 相干时间与相干区域
1.2.4 随机波动方程
1.2.5 随机场相关的确定信号
1.2.6 van Cittert-Zernike定理
1.3 相位解包裹技术
1.3.1 一维相位解包裹
1.3.2 Goldstein枝切法
1.3.3 基于可靠性排序的路径无关快速相位解包裹技术
1.3.4 差分整平相位解包裹技术
1.4 波前质量评价
1.4.1 Zerhike多项式
1.4.2 Zerhike多项式波面拟合
1.4.3 Zerhike多项式与光学像差的对应关系
参考文献
2点衍射干涉仪
2.1 概述
2.2 光的衍射
2.2.1 点衍射波前质量的仿真分析
2.2.2 针孔衍射仿真的建模与计算
2.2.3 针孔衍射研究进展
2.3 传统点衍射干涉仪
2.3.1 光栅相移点衍射干涉仪
2.3.2 偏振相移点衍射干涉仪
2.3.3 传统相移光纤点衍射干涉仪
2.3.4 斜面光纤点衍射干涉仪
2.3.5 双光纤点衍射干涉仪
2.4 针孔点衍射干涉面形检测系统
2.4.1 高精度点衍射球面干涉检测系统布局
2.4.2 对比度可调的点衍射球面面形检测系统
2.4.3 系统误差分析及消除方法
2.5 点衍射定量相位成像技术
2.5.1 衍射相位显微镜系统布局
2.5.2 点衍射定量相位成像技术的应用
参考文献
3横向剪切干涉测试技术
3.1 横向剪切干涉的基本概念
3.1.1 横向剪切干涉的理论基础
3.1.2 横向剪切干涉的数学模型
3.1.3 波前畸变与干涉图样
3.2 玻璃平板横向剪切干涉法
3.2.1 平板剪切分光法
3.2.2 平板插入剪切法
3.3 平移横向剪切干涉法
3.3.1 环形共光路平移剪切法
3.3.2 传统非共光路平移剪切法
3.4 .偏振横向剪切干涉法
3.4.1 晶体平板双折射剪切分光法
3.4.2 Savart偏振镜二次剪切法
3.5 横向剪切干涉中的移相技术
3.5.1 传统机械移相法
3.5.2 偏振移相法
参考文献
4多波前剪切干涉仪
4.1 三波前横向剪切干涉仪
4.2 交叉光栅横向剪切干涉仪
4.2.1 剪切率选择
4.2.2 级次选择窗口参数计算
4.3 改进的哈特曼模板横向剪切干涉仪
4.4 随机编码混合光栅横向剪切干涉仪
4.4.1 理想四波前横向剪切干涉光栅
4.4.2 随机编码混合光栅设计
4.4.3 随机编码混合光栅参数优化与仿真
4.4.4 随机编码混合光栅横向剪切干涉仪的剪切率定标
4.5 多波前剪切干涉位相解调算法
4.5.1 剪切波前的位相解调
4.5.2 差分Zernike多项式拟合位相重建算法
4.5.3 波前微分傅里叶变换位相重建算法
4.5.4 大剪切率傅里叶变换位相重建算法
参考文献
5瞬态波前检测
5.1 波面位相检测技术
5.1.1 条纹扫描相移干涉系统
5.1.2 哈特曼-夏克(Hartmann—Shack)检验
5.1.3 空间位相调制瞬态波前检测
5.2 空间位相调制波前检测技术
5.2.1 空间线性载波及解调
5.2.2 频域泄漏效应
5.2.3 线性载波f0的选择
5.3 传统环形径向剪切干涉仪
5.3.1 系统原理
5.3.2 径向剪切波前数学表征
5.3.3 数值迭代重构技术
5.3.4 解析法重构技术
5.4 偏折型环形径向剪切干涉仪
5.4.1 系统原理
5.4.2 偏折型环形径向剪切干涉波前重构技术
参考文献
6其他共路干涉仪
6.1 双焦透镜干涉仪
6.1.1 基于晶体双折射的双焦透镜干涉体系
6.1.2 戴森双焦干涉仪
6.1.3 激光双焦干涉表面轮廓仪
6.2 Mirau干涉仪
6.2.1 Mirau干涉仪基本原理
6.2.3 相移干涉白光轮廓仪
6.3 4D干涉仪
6.3.1 4D干涉仪基本原理
6.3.2 4D动态干涉仪的应用
参考文献
索引

本书是国内外首部系统阐述共路干涉测量体系的学术著作，详细介绍了光的电磁波特性等基础理论，描述了标量衍射理论、矢量衍射理论及电磁场衍射的数值计算方法，深入研究了共路干涉波前模型及干涉条纹解调技术、高精度波前检测的共路及准共路点衍射干涉技术、基于随机编码混合光栅的四波前横向剪切干涉术、同轴和离轴的环形径向剪切干涉体系及波前重构理论和算法，最后介绍了一些目前国内外常用的共路干涉系统，如米勒干涉系统、4D干涉系统及双焦干涉体系。
全书内容丰富，从检测光路到波前重构模型及应用完整详尽，对共路干涉技术在高科技领域的研究应用具有十分重要的意义，可作为从事精密检测相关专业的科研人员及高等院校师生的重要参考书。