第1章 磁电阻薄膜材料简介
1.1 自旋电子学与磁电阻效应概况
1.2 各向异性磁电阻效应
1.2.1 微观理论
1.2.2 磁化特性
1.2.3 常用各向异性磁电阻材料
1.3 巨磁电阻效应
1.3.1 多层膜巨磁电阻效应和双电流模型
1.3.2 自旋阀巨磁电阻效应
1.4 自旋电子的镜面反射
1.4.1 镜面反射原理及其在纳米氧化层自旋阀中的应用
1.4.2 电子镜面反射对各向异性磁电阻的作用
第2章 NiFe薄膜材料研究现状
2.1 成分与厚度对电输运性能影响研究
2.2 晶粒尺寸与织构对电输运性能影响研究
2.3 不同种子层对电输运性能影响研究
2.4 利用界面插层提高电输运性能研究
第3章 薄膜制备及结构性能表征方法
3.1 薄膜制备
3.1.1 基片清洗过程
3.1.2 薄膜样品制备
3.1.3 元件制备方法
3.1.4 样品的真空退火处理
3.2 薄膜结构性能表征方法
3.2.1 标准四探针法
3.2.2 振动样品磁强计
3.2.3 x射线光电子能谱
3.2.4 x射线衍射
3.2.5 透射电子显微镜
第4章 非晶氧化物界面插层研究
4.1 概论
4.2 SiO2界面插层研究
4.2.1 SiO2界面插层对NiFe薄膜电输运性能影响
4.2.2 SiO2界面插层对NiFe薄膜磁性影响
4.3 Al2O3界面插层研究
4.3.1 Al2O3界面插层对制备态NiFe薄膜结构与性能影响
4.3.2 Al2O3界面插层对退火态NiFe薄膜结构与性能影响
第5章 晶体氧化物界面插层研究
5.1 概论
5.2 MgO晶体氧化物界面插层研究
5.2.1 不同MgO插层位置对NiFe薄膜结构与性能影响
5.2.2 退火对Ta/MgO/NiFe/MgO/Ta薄膜结构与性能影响
5.3 ZnO晶体氧化物界面插层研究
5.3.1 ZnO界面插层对NiFe薄膜结构与电输运性能影响
5.3.2 高温退火对Ta/NiFe/ZnO/Ta薄膜磁性影响
第6章 具有强自旋轨道耦合的贵金属界面插层研究
6.1 概论
6.2 贵金属Au界面插层研究
6.2.1 Au界面插层对NiFe薄膜结构与性能影响
6.2.2 Ta/Au/NiFe/Au/Ta薄膜微结构研究
6.3 贵金属Pt界面插层研究
6.3.1 Pt界面插层对Ta/NiFe/Ta薄膜结构与性能影响
6.3.2 Pt界面插层对NiFeCr/NiFe/Ta薄膜结构与性能影响
第7章 其它类型界面插层材料研究
7.1 概论
7.2 磁性金属氧化物CoFeOx界面插层研究
7.2.1 单层CoFeOx对NiFe薄膜结构号性能影响
7.2.2 双层CoFeOx对NiFe薄膜结构与性能影响
7.3 非磁AlN界面插层研究
7.3.1 AlN界面插层对NiFe薄膜电输运性能影响
7.3.2 AlN界面插层对NiFe薄膜微结构影响
参考文献