《多晶硅生产技术——项目化教程》修订改变了原教材按章节设置教学内容，修订后的教材以改良西门子法生产多晶硅过程为基础，以完成工作任务为目标，共设置了八个学习性项目、36个学习性工作任务。努力体现现代教育理念和专业特点，突出能力培养。同时，根据几年来使用本教材的院校教师、企业工程技术人员、职业培训教师的意见，对教材相关内容进行了增删和调整：减少工业硅生产内容，增加精馏、还原、尾气回收章节中对设备的维护与管理；设备和系统的操作；细化部分设备结构，增加四氯化硅综合利用内容。本书由刘秀琼、唐正林主编。

《多晶硅生产技术——项目化教程》主要讲述了改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程。内容包括三氯氢硅的合成、精馏提纯；三氯氢硅氢还原制备高纯硅、尾气干法回收、硅芯的制备等核心内容，同时对气体的制备与净化、四氯化硅的综合利用与处理、纯水的制备、硅烷法制备高纯硅做了详细介绍。本书紧密结合生产实践，注重了理论与实践的有机结合。

《多晶硅生产技术——项目化教程》可作为本科和高职院校太阳能光伏产业硅材料专业教材，同时也可作为中专、技校和从事多晶硅生产的企业员工的培训教材，还可供相关专业工程技术人员学习参考。本书由刘秀琼、唐正林主编。

绪论

0.1 改良西门子法生产多晶硅

0.2 其他多晶硅生产方法

项目一 气体的制备与净化

任务一 气体的制备

任务二 气体净化

小结

习题和思考题

项目二 三氯氢硅的合成

任务一 液氯汽化

任务二 氯化氢的合成

任务三 三氯氢硅的合成

小结

习题和思考题

项目三 三氯氢硅精馏提纯

任务一 精馏提纯原理及相关计算

任务二 精馏提纯设备

任务三 精馏提纯工艺

任务四 精馏提纯操作

任务五 设备、管道的检修

任务六 故障处理

任务七 三氯氢硅中杂质含量的分析

小结

习题和思考题

项目四 三氯氢硅氢还原制备高纯硅

任务一 三氯氢硅氢还原工作原理

任务二 三氯氢硅氢还原工艺、核心设备结构及操作

任务三 设备、管道保养与维护

任务四 还原工序常见故障判断与处理

任务五 三氯氢硅氢还原工序产品质量要求及控制

任务六 还原生产中热能的综合利用

任务七 高纯材料及半导体相关知识

小结

习题和思考题

项目五 尾气干法回收

任务一 还原尾气干法回收的基本原理

任务二 还原尾气干法回收工艺流程

任务三 尾气干法回收主要设备

任务四 设备准备及安全检查

任务五 尾气干法回收原辅材料准备

任务六 尾气干法回收关键及核心设备操作

任务七 尾气回收故障处理

任务八 设备、管道保养与维护

小结

习题和思考题

项目六 四氯化硅的综合利用与处理

任务一 四氯化硅的性质

任务二 四氯化硅氢化回收

任务三 四氯化硅处理的其他技术

小结

习题和思考题

项目七 硅芯的制备与腐蚀

任务一 硅芯的制备

任务二 硅芯腐蚀

小结

习题和思考题

项目八 纯水的制备

任务一 纯水制备原理

任务二 纯水制备工艺流程

任务三 纯水制备系统主要设备及工作原理

任务四 纯水制备系统操作

任务五 纯水的测量

任务六 其他纯水制备法及流程

小结

注释

习题和思考题

项目九 硅烷法制备高纯硅

任务一 硅烷的性质

任务二 原料的制取及处理

任务三 硅烷的发生

任务四 硅烷的提纯

任务五 硅烷热分解制备多晶硅

小结

习题和思考题

参考文献