吴自勤等专著的《现代物理基础丛书54：薄膜生长（第2版）》集中介绍了薄膜科学中的关键部分——薄膜生长。本书不仅系统地介绍了有关薄膜生长的固体物理学知识，而且介绍了薄膜生长的前沿进展和薄膜检测的各种先进方法。

《现代物理基础丛书54：薄膜生长（第2版）》集中介绍了薄膜科学中的关键部分——薄膜生长。全书由五个方面15章的内容组成：第一至四章主要从薄膜的角度介绍相平衡和晶体表面原子结构的基础知识。第五至七章主要介绍薄膜中的缺陷和扩散。第八、九章主要介绍薄膜生长的三种模式和成核长大动理学。第十至十三章主要介绍金属薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜的生长和生长中出现的分形现象。第十四、十五章介绍薄膜制备和研究的各种方法。本书不仅系统地介绍了有关薄膜生长的固体物理学知识，而且介绍了薄膜生长的前沿进展和薄膜检测的各种先进方法。

吴自勤等专著的《现代物理基础丛书54：薄膜生长（第2版）》可作为固体物理、材料科学专业的研究生教学用书，也可供从事薄膜研制和生产的科技人员参考。

第二版前言

第一版前言

第一章 相平衡和界面相

1.1 相平衡

1.2 元素和合金的相图

1.3 固溶体的能量

1.4 固溶体的组态熵

1.5 界面相

1.6 界面曲率半径对压强的影响

1.7 晶体表面能、界面能和黏附能

1.8 固体表面张力的测定方法

1.9 表面能对薄膜稳定性的影响

参考文献

第二章 晶体和晶体表面的对称性

第三章 晶体表面原子结构

第四章 再构表面和吸附表面

第五章 薄膜中的晶体缺陷

第六章 外延薄膜中缺陷的形成过程

第七章 薄膜中的扩散

第八章 薄膜的成核长大热力学

第九章 薄膜的成核长大动理学

第十章 金属薄膜的生长

第十一章 半导体薄膜的生长

第十二章 氧化物薄膜的生长

第十三章 薄膜中的分形

第十四章 薄膜的制备方法

第十五章 薄膜研究方法