Chang Liu所著的《微机电系统基础（原书第2版）》全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文。为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感嚣、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法，既便于比较，又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。

Chang Liu所著的《微机电系统基础（原书第2版）》第1版被翻译成3种文字出版发行，并已被美国一些著名大学作为教科书，在MEMS领域享有较高声誉。全书共分15章。第1、2章概括了基本传感原理和制造方法；第3章讨论了当今MEMS实践中所必需的电学和机械工程基本知识；第4～9章分别描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器；第10～11章详细介绍了微制造中最常用的体微机械加工和表面微机械加工技术，而器件制造方法则插入到实例研究中；第12章讨论了工艺技术的综合应用；第13章介绍了与聚合物有关的MEMS制造技术；第14章讨论了微流控原理及应用。根据这些敏感与执行方法以及制造方法；第15章选择了MEMS商业化产品实例进行介绍。

《微机电系统基础（原书第2版）》循序渐进，体系严密，适合作为微机电系统（MEMS）、传感器、微电子、机械工程、仪器仪表等专业的高年级本科生和研究生教材，也适合于这些领域的科技人员参考。

第2版译者序

第1版译者序

教师备忘录

前言

第1章 绪论

 1.0 预览

 1.1 MEMS发展史

1.1.1 从诞生到1990年

1.1.2 从1990年到2001年

1.1.3 从2002年到现在

1.1.4 未来发展趋势

 1.2 MEMS的本质特征

1.2.1 小型化

1.2.2 微电子集成

1.2.3 高精度的并行制造

 1.3 器件：传感器和执行器

1.3.1 能量域和换能器

1.3.2 传感器考虑

1.3.3 传感器噪声及设计复杂性

1.3.4 执行器考虑

 1.4 总结

 习题

 参考文献

第2章 微制造导论

第3章 电学与机械学基本概念

第4章 静电敏感与执行原理

第5章 热敏感与执行原理

第6章 压阻传感器

第7章 压电敏感与执行原理

第8章 磁执行原理

第9章 敏感与执行原理总结

第10章 体微机械加工与硅各向异性刻蚀

第11章 表面微机械加工

第12章 工艺组合

第13章 聚合物MEMS

第14章 微流控应用

第15章 MEMS典型产品实例

附录A 典型MEMS材料特性

附录B 梁、悬臂梁、板的常用力学公式

附录C 处理二阶动态系统的基本方法

附录D 常用材料的制备方法、刻蚀剂和能够承受的最高温度

附录E 常用材料去除工艺

附录F 材料和工艺之间的兼容性总结

附录G 商用惯性传感器比较部分习题答案