本书被公认为论述半导体材料、物理、器件与工艺技术的经典入门教材。突出强调基本的半导体物理概念,使学生不仅能牢固掌握当前各类半导体器件的工作原理。而且还能够进一步应用这些概念去分析各种新型半导体器件的特性,将其灵活地应用于各种微电子及光电子的电路与系统中。
书中主要内容包括:固体材料和半导体材料导电的基本知识,PN结、双极型晶体管、MOS场效应晶体管以及光电子等各类半导体器件的工作原理,固态集成电路及其他相关的应用实例,发光二极管器件、雪崩光电二极管和波导光电二极管以及太阳能电池方面的最新研究进展。另外,书中还配有约200道练习题,供学生进一步复习、巩固并扩展课本中所学的基本概念。
本书是介绍半导体器件工作原理的经典入门教材,其主要内容包括固体物理基础和半导体器件物理两大部分,同时也涵盖半导体晶体结构与材料生长技术、集成电路原理与制造工艺以及光电子器件与高频大功率器件等相关内容。
本书注重基本物理概念,强调理论联系实际,可作为高等院校电子信息类专业“固态器件与电路”专业基础课的教材,也可供相关领域的研究人员和技术人员参考。
第1章 晶体性质和半导体生长
1.1 半导体材料
1.2 晶格
1.2.1 周期结构
1.2.2 立方晶格
1.2.3 晶面与晶向
1.2.4 金刚石晶格
1.3 块状晶体生长
1.3.1 制备原材料
1.3.2 单晶的生长
1.3.3 圆片
1.3.4 掺杂
1.4 外延生长
1.4.1 外延生长的晶格匹配
1.4.2 汽相外延
1.4.3 分子束外延
小结
习题
参考读物
自我测验
第2章 原子和电子
2.1 物理模型介绍
2.2 重要实验
2.2.1 光电效应
2.2.2 原子光谱
2.3 玻尔模型
2.4 量子力学
2.4.1 几率和不确定性原理
2.4.2 薛定谔波动方程
2.4.3 势阱问题
2.4.4 隧穿
2.5 原子结构和元素周期表
2.5.1 氢原子
2.5.2 元素周期表
小结
习题
参考读物
自我测验
第3章 半导体能带和载流子
第4章 半导体中的过剩载流子
第5章 PN结
第6章 场效应晶体管
第7章 双极结型晶体管
第8章 光电器件
第9章 集成电路
第10章 高频和大功率器件
附录A 常用符号定义
附录B 物理常数以及转换系数
附录C 半导体材料的特性
附录D 导带状态密度的推导
附录E 费米-迪拉克统计的推导
附录F 在Si(100)上生长的干、湿热氧化层厚度随时间、温度变化的关系
附录G 杂质在Si中的固溶度
附录H Si和SiO2中杂质的扩散系数
附录I Si中注入深度和范围与入射能量之间的关系
自我测验题部分答案
索引