表面科学的发展和许多相关工程问题的解决要以精确的分析试验为依据，而对材料表面的分析研究要通过必要的材料表面分析方法来完成。因此，各国对材料科学与工程专业的研究生和本科生的教育正在逐步加强这方面知识和技能的培养，但是目前中国尚缺乏材料表面分析方面的教材。本书首先在绪论部分介绍了材料表面及其特性以及材料表面分析的主要内容，然后在其他章节介绍了电子与固体样品的相互作用、电子光学基础和研究材料表面常用的现代分析方法，包括透射电子显微镜、扫描电子显微镜、电子探针、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱、二次离子质谱、场离子显微镜与原子探针、扫描隧道电子显微镜、原子力显微镜、掠入射x射线衍射等。对这些表面分析方法的基本原理、仪器结构、技术特点和应用范围等精华进行了较为系统的论述。该书不仅可作为材料科学与工程专业研究生教材，以及该专业本科生教学参考书，而且对直接从事表面科学的研究人员、分析测试人员和涉及表面现象的工程技术人员均有较大的参考价值。

本书首先在绪论部分介绍了材料表面及其特性以及材料表面分析的主要内容，然后在其他章节介绍了电子与固体样品的相互作用、电子光学基础和研究材料表面常用的现代分析方法，包括透射电子显微镜、扫描电子显微镜、电子探针、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱、二次离子质谱、场离子显微镜与原子探针、扫描隧道电子显微镜、原子力显微镜、掠入射X射线衍射等。对这些表面分析方法的基本原理、仪器结构、技术特点和应用范围等精华进行了较为系统的论述。该书不仅可作为材料科学与工程专业研究生教材，以及该专业本科生教学参考书，而且对直接从事表面科学的研究人员、分析测试人员和涉及表面现象的工程技术人员均有较大的参考价值。

第1章 绪论

第2章 电子与固体样品的相互作用

第3章 电子光学基础

第4章 透射电子显微镜

第5章 扫描电子显微镜

第6章 电子探针

第7章 X射线光电子能谱

第8章 俄歇电子能谱

第9章 二次离子质谱

第10章 场离子显微镜与原子探针

第11章 扫描隧道电子显微镜

第12章 原子力显微镜

第13章 掠入射X射线衍射分析

参考文献