《脉冲激光沉积动力学原理》是国际上第一本全面阐述脉冲激光沉积动力学的专著，内容取材于作者多年的科研结晶。本书介绍作者提出的能自洽描述全沉积过程的统一动力学模型，并逐一研究各工艺阶段的热动力学的规律，详尽地阐述有关的最新研究成果：基于局域守恒定律的等离子体的新演化模型，羽辉演化的近场、中场和原场行为的研究，包含热源项、蒸发项、吸收率动态变化和非傅里叶效应的综合烧蚀模型，薄膜的蒙特卡罗研究和若干标度规律的发现、修正和综合双温模型等。本书由张端明、李智华、钟志成等编著。

《脉冲激光沉积动力学原理》对现代材料先进制备技术——脉冲激光沉积技术的机理，进行了深入、系统的讨论，是国际上第一本全面阐述脉冲激光沉积动力学的专著，内容取材于作者多年的科研结晶。本书介绍作者提出的能自洽描述全沉积过程的统一动力学模型，并逐一研究各工艺阶段的热动力学的规律，详尽地阐述有关的最新研究成果：基于局域守恒定律的等离子体的新演化模型，羽辉演化的近场、中场和原场行为的研究，包含热源项、蒸发项、吸收率动态变化和非傅里叶效应的综合烧蚀模型，薄膜的蒙特卡罗研究和若干标度规律的发现、修正和综合双温模型等。本书的飞秒激光动力学研究，其应用范围涉及微纳加工、光电、生物、信息和化学工程等，因而本书具有很强的科学性、原创性和实践性。

《脉冲激光沉积动力学原理》可作为材料科学、物理学以及相关专业的研究生教材，也可供从事飞秒激光技术研究和应用的科研工作者参考。本书由张端明、李智华、钟志成等编著。

前言

第1章 薄膜材料与制备方法引论

 1.1 薄膜材料的特点

 1.2 常见的薄膜材料

 1.3 常见的薄膜制备方法

 参考文献

第2章 薄膜的缺陷、界面与表征

 2.1 薄膜的缺陷

 2.2 薄膜的界面与薄膜间的相互扩散

 2.3 薄膜材料的表征

 2.4 x射线衍射分析

 2.5 扫描隧道显微镜

 2.6 扫描近场光学显微镜

 参考文献

第3章 pld技术及其z-l模型一般描述

 3.1 pld发展过程

 3.2 pld技术制备薄膜的实验工艺

 3.3 pld制备过程的一般描述

 3.4 pld的z-l模型简介

 参考文献

第4章 激光烧蚀的基本模型与含热源项模型

 4.1 激光烧蚀产生的烧蚀面的位置演化规律

 4.2 烧蚀方程的导热方程和定解条件

 4.3 液相区和固相区的温度演化规律

 4.4 蒸发弛豫过程对烧蚀面的影响

 4.5 含热源项的激光烧蚀导热理论模型

 4.6 靶材熔融前的温度分布演化规律

 4.7 靶材熔融后的温度和界面演化规律

 参考文献

第5章 含蒸发项、热源项和靶材吸收率的烧蚀模型

 5.1 不同烧蚀阶段的含蒸发项的热传导问题

 5.2 不同烧蚀阶段靶材温度演化及蒸发特性

 5.3 激光烧蚀的动态吸收率

 5.4 激光烧蚀的导热方程及边界条件

 5.5 数值模拟及讨论

 5.6 带热源项的非傅里叶热传导模型与烧蚀熔融前靶材温度演化规律

 5.7 等离子体屏蔽效应

 参考文献

第6章 高能激光烧蚀靶材动力学的新探索

 6.1 紫外纳秒pla的改进热动力学模型

 6.2 纳秒脉冲激光烧蚀的物理图像

 6.3 烧蚀过程中动态吸收率

 6.4 关于蒸发效应和等离子体屏蔽效应

 6.5 改进模型的数值模拟研究

 6.6 多组分靶材氧化物超导体的烧蚀研究

 6.7 靶材表面的蒸发现象和等离子体屏蔽

 参考文献

第7章 等离子体的演化及冲击波规律研究

 7.1 脉冲激光烧蚀产生的等离子体发射

 7.2 等离子体的空间膨胀

 7.3 激光工作参数与沉积薄膜特性关系

 7.4 等离子体的速度及外形演化规律

 7.5 有限爆炸时间的冲击波模型的建立

 7.6 冲击波的渐近行为的研究

 参考文献

第8章 等离子体演化动力学的新探索

 8.1 等离子体演化中的物理图像

 8.2 新的等离子体膨胀动力学模型

 8.3 等离子体动力学方程组的约化

 8.4 等离子体的动力学特性的定性分析

 8.5 纳秒脉冲激光沉积中等离子体膨胀过程的数值模拟研究

 8.6 等离子体在真空中等温膨胀行为的定量研究

 8.7 等离子体在真空中绝热膨胀行为的定量研究

 8.8 本章小结

 参考文献

第9章 薄膜生长过程研究

 9.1 薄膜生长过程中的微观变化

 9.2 薄膜生长的理论研究概况

 9.3 蒙特卡罗方法及其在薄膜生长研究中的应用

 9.4 在薄膜生长中主要应用的mc模型

 9.5 薄膜生长初期的蒙特卡罗模型

 9.6 基底温度对薄膜形貌的影响

 9.7 粒子入射动能对薄膜形貌的影响

 9.8 脉冲强度对pld薄膜生长的影响

 9.9 脉冲频率对pld薄膜生长的影响

 参考文献

第10章 相爆炸

 10.1 激光烧蚀包含的基本热过程

 10.2 pld技术中的相爆炸现象

 10.3 相变与气相粒子行为的动力学理论

 参考文献

第11章 超短强脉冲激光条件下的热动力学机制

 11.1 超短强脉冲激光条件下的非傅里叶能量吸收

 11.2 改进的双温方程及其应用

 11.3 高能飞秒激光引起电子态密度变化的效应

 11.4 从纳秒到飞秒的非傅里叶统一双温模型

 参考文献

第12章 飞秒脉冲激光诱导靶材表面周期结构(flipss)

 12.1 飞秒激光与物质相互作用

 12.2 飞秒激光诱导材料表面周期性结构

 12.3 飞秒脉冲激光诱导表面周期性结构的实验研究

 12.4 飞秒激光诱导金属表面周期性结构理论研究

 12.5 flipss能量阈值现象与能量累积效应研究

 12.6 本章小结

 参考文献

第13章 超短强脉冲激光技术发展与应用

 13.1 超短强脉冲激光在材料加工中的应用

 13.2 超短强激光诱导表面大面积规整纳米光栅周期结构

 13.3 飞秒激光在光通信领域中的应用

 13.4 飞秒激光在生物学领域中的应用

 参考文献

附录a 带再凝聚边界条件的knudsen层特性

附录b 反射边界条件

附录c 马赫数m=1假设

附录d 钽铌酸钾薄膜材料

 d.1 ktn材料的结构与相变

 d.2 ktn材料的介电、铁电和电光性能

 d.3 ktn材料的制备

后记