本书是以作者所在微机电系统(MEMS)课题组近年来的科学研究工作为基础，融合了其他科研人员的研究成果编著而成。主要介绍了MEMS技术革命历程、基本概念、动力学概况及其非线性特征；微驱动原理及尺度效应；各种常见的MEMS宏建模与分析方法、多能量场耦合降阶建模与模拟仿真技术等基本内容。着重介绍了静电驱动MEMS所涉及的各种静电驱动方式、静电吸合和参数激励耦合等非线性动力学问题；微旋转机械中微电机和动力MEMS的发展概况。

本书旨在通过对MEMS动力学问题的综合探讨，试图引起人们对MEMS动力学研究的兴趣和重视，促进MEMS动力学的发展、加快MEMS应用和产业化的步伐、提高MEMS使用的工作效率和可靠性。

本书着重介绍微机电系统动力学的相关理论基础与应用。全书共分为7章，主要内容包括：微机电系统及微机电系统动力学科学问题的发展背景、现状和未来的介绍；微驱动原理及尺度效应、微机电系统动力学相关理论基础的概述；微机电系统宏建模与分析方法、多能量场耦合降阶建模与模拟仿真技术的介绍；微机电系统中涉及的多种气体阻尼和热弹性阻尼特性的分析与探讨；静电驱动微机电系统非线性动力学特性和微转子系统中的摩擦磨损行为、气体轴承动力润滑特性和非线性振动特性等方面的论述；微机电系统动态特性测试技术的介绍。

本书可供高等院校微电子、机电一体化等专业的师生阅读，也可供从事微机电系统和微系统设计、加工制造及应用技术的科技人员参考。

前言

第1章 绪论

 1.1 MEMS技术革命历程

 1.2 MEMS的基本概念与特征

 1.3 MEMS动力学及其非线性特征

 1.4 MEMS动力学研究概况

 1.5 MEMS的市场和应用前景

 1.6 MEMS的相关资讯

 参考文献

第2章 MEMS动力学理论基础

 2.1 尺度效应

 2.2 微驱动原理及尺度效应

 2.3 MEMS力学特性

 2.4 MEMS振动特性

 2.5 MEMS摩擦学

 2.6 微尺度理论研究方法

 参考文献

第3章 MEMS动力学建模与仿真

 3.1 MEMS建模与仿真概论

 3.2 MEMS宏建模与分析方法

 3.3 MEMS多能量场耦合降阶建模

 3.4 MEMS多能量场耦合模拟仿真

 参考文献

第4章 MEMS阻尼特性

 4.1 气体阻尼

 4.2 热弹性阻尼

 参考文献

第5章 静电驱动MEMS动力学

 5.1 静电场基本理论

 5.2 静电驱动基本方式

 5.3 微结构静电力分析

 5.4 静电驱动MEMS的基本特性

 5.5 静电驱动MEMS的动力学特性

 5.6 静电驱动MEMS的组合共振

 参考文献

第6章 微转子系统动力学

 6.1 微旋转机械发展概论

 6.2 微转子系统摩擦磨损特性分析

 6.3 微转子-固定轴承接触问题分析

 6.4 碰摩微转子系统非线性动力特性分析

 6.5 微气体轴承动力润滑特性分析

 参考文献

第7章 MEMS动态测试技术

 7.1 基本激励方法与技术

 7.2 MEMS动态参数测量方法

 7.3 计算机微视觉测试技术

 7.4 频闪显微干涉视觉测试技术

 7.5 激光多普勒测试技术

 7.6 光纤迈克尔逊干涉测试技术

 参考文献