本书系统总结了世界半导体硅材料的发展历史、研究现状,并指出了今后的发展方向。主要内容包括:半导体硅及硅基材料、多晶硅和光伏技术、硅外延和薄膜、硅掺杂、器件、化合物半导体、晶格缺陷、杂质影响等多方面的内容,并涉及量子计算机、碳纳米管在微电子中的应用、情境智能系统、大脑半导体等。
本书涵盖了半导体硅及硅基材料、多晶硅和光伏技术、硅外延和薄膜、硅掺杂、器件、化合物半导体、晶格缺陷、杂质影响等多方面的内容,并涉及量子计算机、碳纳米管在微电子中的应用、情境智能系统、大脑半导体等诸多新概念;系统总结了世界半导体硅材料的发展历史、研究现状,并指出了今后的发展方向。其内容广泛,数据详实,可作为高等院校、科研院所和相关单位从事半导体材料学习、科研和开发人员的参考用书。
1 导论:各种形式的硅
1.1 引言
1.2 从20世纪60年代到70年代初:能带
1.3 20世纪70年代:应用于硅的表面理论
1.4 20世纪80年代:硅的结构能
1.5 20世纪90年代:硅团簇与量子点的结构和电子性质
1.6 未来展望
参考文献
第一部分 半导体体硅晶体
……
第二部分 多晶硅
第三部分 外延、薄膜和多孔层
第四部分 晶格缺陷
第五部分 硅掺杂
第六部分 某些杂志的作用
第七部分 器件
第八部分 对硅的补充:化合物半导体
第九部分 新的研究领域
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